Übersetzung für "Submicron" in Deutsch
A
process
for
producing
structures
in
the
submicron
range
is
characterized
by
the
following
steps:
Ein
Verfahren
zur
Strukturerzeugung
im
Submikron-Bereich
ist
durch
folgende
Schritte
gekennzeichnet:
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
process
for
producing
structures
in
the
submicron
range.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Strukturerzeugung
im
Submikron-Bereich.
EuroPat v2
This
invention
concerns
a
process
for
making
masks
with
structures
in
the
submicron
range.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Herstellung
von
Masken
mit
Strukturen
im
Submikrometerbereich.
EuroPat v2
Submicron
structures
of
marked
resolution
with
high
edge
steepness
are
obtained.
Es
werden
deutlich
aufgelöste
Submikronstrukturen
mit
hoher
Flankensteilheit
erhalten.
EuroPat v2
This
marked
contrast
behaviour
of
the
resist
promotes
the
resolution
of
submicron
structures.
Dieses
grosse
Kontrastverhalten
des
Resists
fördert
die
Auflösung
von
Submikronstrukturen.
EuroPat v2
For
patterns
in
the
submicron
range
an
electron
beam
exposure
is
used.
Für
Muster
im
Submikronbereich
wird
eine
Elektronenstrahlbelichtung
vorgenommen.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
method
for
the
photolithographic
production
of
structures
in
the
submicron
range.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
photolithographischen
Strukturerzeugung
im
Submikron-Bereich.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
photoresist
for
the
production
of
structures
in
the
submicron
range.
Die
Erfindung
betrifft
einen
Photoresist
zur
Strukturerzeugung
im
Submikron-Bereich.
EuroPat v2
The
resulting
resist
material
permits
the
resolution
of
submicron
structures.
Das
erhaltene
Resistmaterial
erlaubt
die
Auflösung
von
Submikronstrukturen.
EuroPat v2
Active
substances
can
in
some
cases
be
reduced
to
particle
sizes
in
the
submicron
range
by
conventional
processes.
Durch
konventionelle
Verfahren
lassen
sich
Wirkstoffe
zum
Teil
auf
Partikelgrößen
im
Submikronbereich
zerkleinern.
EuroPat v2
Minimum
lateral
dimensions
in
the
submicron
range
can
be
attained
with
somewhat
lower
heights.
Bei
etwas
geringeren
Höhen
lassen
sich
auch
minimale
laterale
Abmessungen
im
Submikrometerbereich
realisieren.
EuroPat v2
With
somewhat
smaller
heights,
it
is
also
possible
to
attain
minimum
lateral
dimensions
in
the
submicron
range.
Bei
etwas
geringeren
Höhen
lassen
sich
auch
minimale
laterale
Abmessungen
im
Submikrometerbereich
realisieren.
EuroPat v2
With
somewhat
lower
heights,
it
is
even
possible
to
realize
minimum
lateral
dimensions
in
the
submicron
range.
Bei
etwas
geringeren
Höhen
lassen
sich
auch
minimale
laterale
Abmessungen
im
Submikrometerbereich
realisieren.
EuroPat v2
In
this
case,
the
resolution
of
the
microstructuring
can
lie
in
the
micrometer
range
and
possibly
in
the
submicron
range.
Dabei
kann
die
Auflösung
der
Mikrostrukturierung
im
Mikrometerbereich
und
auch
im
Submikrometerbereich
liegen.
EuroPat v2