Übersetzung für "Telecentricity" in Deutsch
																						Otherwise,
																											the
																											usually
																											required
																											telecentricity
																											in
																											the
																											wafer
																											plane
																											6
																											is
																											deteriorated.
																		
			
				
																						Andernfalls
																											würde
																											die
																											üblicherweise
																											geforderte
																											Telezentrie
																											in
																											der
																											Wafer-Ebene
																											6
																											verletzt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						At
																											the
																											same
																											time,
																											telecentricity,
																											distortion
																											and
																											further
																											imaging
																											errors
																											can
																											be
																											optimized.
																		
			
				
																						Gleichzeitig
																											können
																											Telezentrie,
																											Verzeichnung
																											und
																											weitere
																											Abbildungsfehler
																											optimiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Telecentricity
																											and
																											distortion
																											are
																											0.08
																											%
																											or
																											even
																											lower.
																		
			
				
																						Telezentrie
																											und
																											Verzeichnung
																											liegen
																											bei
																											0,08%
																											oder
																											darunter.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						A
																											linear
																											progression
																											of
																											the
																											telecentricity
																											against
																											the
																											field
																											height
																											once
																											again
																											results.
																		
			
				
																						Es
																											ergibt
																											sich
																											wiederum
																											ein
																											linearer
																											Verlauf
																											der
																											Telezentrie
																											über
																											die
																											Feldhöhe.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Telecentricity
																											means
																											that
																											the
																											entrance
																											pupil
																											lies
																											virtually
																											at
																											infinity.
																		
			
				
																						Telezentrie
																											bedeutet,
																											dass
																											die
																											Eintrittspupille
																											nahezu
																											im
																											Unendlichen
																											liegt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											lens
																											furthermore
																											has
																											a
																											high
																											telecentricity
																											and
																											very
																											small
																											distortions.
																		
			
				
																						Das
																											Objektiv
																											weist
																											weiterhin
																											eine
																											hohe
																											Telezentrie
																											und
																											sehr
																											geringe
																											Verzerrungen
																											auf.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Furthermore,
																											the
																											principle
																											of
																											telecentricity
																											has
																											no
																											influence
																											on
																											the
																											size
																											of
																											the
																											depth
																											of
																											field
																											range.
																		
			
				
																						Weiterhin
																											hat
																											das
																											Prinzip
																											der
																											Telezentrie
																											keinen
																											Einfluss
																											auf
																											die
																											Größe
																											des
																											Schärfentiefebereichs.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Telecentricity
																											is
																											to
																											be
																											understood
																											in
																											the
																											present
																											application
																											in
																											that
																											the
																											entire
																											system
																											is
																											telecentric
																											at
																											the
																											wafer.
																		
			
				
																						Unter
																											Telezentrie
																											wird
																											in
																											der
																											vorliegenden
																											Anmeldung
																											verstanden,
																											daß
																											das
																											Gesamtsystem
																											am
																											Wafer
																											telezentrisch
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											way
																											of
																											example,
																											a
																											telecentricity
																											value
																											in
																											a
																											dependent
																											manner
																											over
																											at
																											least
																											one
																											field
																											dimension
																											can
																											be
																											measured
																											as
																											the
																											illumination
																											parameter.
																		
			
				
																						Als
																											Beleuchtungsparameter
																											kann
																											beispielsweise
																											ein
																											Telezentriewert
																											in
																											Abhängigkeit
																											über
																											mindestens
																											eine
																											Felddimension
																											gemessen
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											contrast
																											to
																											purely
																											object-space
																											telecentricity,
																											the
																											tolerable
																											object
																											position
																											is
																											not
																											limited
																											here
																											by
																											the
																											depth
																											of
																											field.
																		
			
				
																						Im
																											Unterschied
																											zur
																											rein
																											objektseitigen
																											Telezentrie
																											wird
																											die
																											tolerierbare
																											Objektlage
																											hier
																											nicht
																											durch
																											die
																											Schärfentiefe
																											begrenzt.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											directions
																											of
																											the
																											principal
																											rays
																											in
																											the
																											image
																											plane
																											differ
																											from
																											the
																											direction
																											of
																											the
																											optical
																											axis
																											3
																											by
																											at
																											most
																											1
																											mrad
																											for
																											any
																											zooming
																											position
																											in
																											order
																											that
																											the
																											telecentricity
																											of
																											the
																											zoom
																											system's
																											image
																											end
																											will
																											be
																											maintained
																											for
																											any
																											zooming
																											position.
																		
			
				
																						Die
																											Schwerstrahlrichtungen
																											in
																											der
																											Bildebene
																											weichen
																											für
																											alle
																											Zoomstellungen
																											um
																											höchstens
																											1
																											mrad
																											von
																											der
																											Richtung
																											der
																											optischen
																											Achse
																											3
																											ab,
																											so
																											dass
																											bildseitige
																											Telezentrie
																											durchgängig
																											gegeben
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											illumination
																											optics
																											for
																											EUV
																											lithography,
																											as
																											in
																											German
																											Patent
																											199
																											03
																											807
																											or
																											WO
																											99/57732,
																											for
																											example,
																											in
																											addition
																											to
																											the
																											resolution,
																											high
																											requirements
																											are
																											also
																											necessary
																											with
																											regard
																											to
																											uniformity
																											and
																											telecentricity.
																		
			
				
																						Für
																											Beleuchtungsoptiken
																											für
																											die
																											EUV-Lithographie,
																											wie
																											beispielsweise
																											in
																											der
																											DE
																											199
																											03
																											807
																											oder
																											der
																											WO
																											99/57732,
																											werden
																											außer
																											an
																											die
																											Auflösung
																											auch
																											hohe
																											Anforderungen
																											an
																											die
																											Gleichmäßigkeit
																											bzw.
																											Uniformität
																											und
																											Telezentrie
																											gestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Residual
																											faults
																											remain
																											in
																											optical
																											correction
																											and
																											production
																											tolerance,
																											which
																											can
																											be
																											estimated
																											by
																											the
																											quality
																											parameters
																											of
																											telecentricity.
																		
			
				
																						Es
																											bleiben
																											Restfehler
																											der
																											optischen
																											Korrektur
																											und
																											Fertigungstoleranzen,
																											die
																											durch
																											den
																											Qualitätsparameter
																											des
																											Telezentriebereichs
																											beziffert
																											werden.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											TECHSPEC®
																											MercuryTLTM
																											Liquid
																											Lens
																											Telecentric
																											Lenses
																											from
																											Edmund
																											Optics®
																											contain
																											an
																											integrated
																											liquid
																											lens
																											for
																											quick
																											autofocus
																											while
																											maintaining
																											telecentricity
																											throughout
																											the
																											entire
																											working
																											distance
																											range.
																		
			
				
																						The
																											TECHSPEC®
																											MercuryTLTM
																											telezentrischen
																											Objektive
																											mit
																											Flüssiglinse
																											von
																											Edmund
																											Optics®
																											enthalten
																											eine
																											integrierte
																											Flüssiglinse
																											zur
																											schnellen
																											Autofokussierung
																											bei
																											gleichzeitiger
																											Erhaltung
																											der
																											Telezentrie
																											über
																											den
																											gesamten
																											Arbeitsabstandsbereich.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						There
																											is
																											currently
																											no
																											valid
																											definition
																											of
																											the
																											extent
																											to
																											which
																											the
																											image
																											size
																											changes
																											when
																											traversing
																											the
																											field
																											of
																											telecentricity.
																		
			
				
																						Um
																											welchen
																											Wert
																											sich
																											die
																											Bildgröße
																											beim
																											Durchlaufen
																											des
																											Telezentriebereichs
																											ändern
																											darf,
																											dafür
																											gibt
																											es
																											bislang
																											keine
																											gültige
																											Definition.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						As
																											soon
																											as
																											a
																											corresponding
																											illumination
																											setting
																											is
																											set
																											during
																											projection
																											operation,
																											the
																											displaceable
																											illumination
																											angle
																											variation
																											unit
																											is
																											brought
																											in
																											a
																											controlled
																											manner
																											to
																											a
																											position
																											in
																											which
																											an
																											illumination
																											parameter
																											to
																											be
																											corrected,
																											for
																											example
																											the
																											telecentricity
																											value,
																											is
																											corrected
																											in
																											accordance
																											with
																											the
																											change
																											resulting
																											from
																											the
																											calibration
																											measurement
																											in
																											the
																											case
																											of
																											the
																											illumination
																											setting
																											being
																											set.
																		
			
				
																						Sobald
																											im
																											Projektionsbetrieb
																											ein
																											entsprechendes
																											Beleuchtungssetting
																											eingestellt
																											wird,
																											wird
																											die
																											verlagerbare
																											Beleuchtungswinkel-Variationseinheit
																											gesteuert
																											in
																											eine
																											Position
																											gebracht,
																											in
																											der
																											ein
																											zu
																											korrigierender
																											Beleuchtungsparameter,
																											beispielsweise
																											der
																											Telezentriewert,
																											entsprechend
																											der
																											sich
																											aus
																											der
																											Kalibriermessung
																											ergebenden
																											Änderung
																											bei
																											Einstellung
																											dieses
																											Beleuchtungssettings
																											korrigiert
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											case,
																											during
																											production
																											operation,
																											an
																											illumination
																											parameter,
																											for
																											example
																											a
																											telecentricity
																											value,
																											is
																											monitored
																											by
																											measuring
																											device
																											and
																											readjusted
																											via
																											the
																											control/regulating
																											unit
																											by
																											corresponding
																											adjustment
																											of
																											the
																											displacement
																											drive.
																		
			
				
																						In
																											diesem
																											Falle
																											wird
																											während
																											des
																											Projektionsbetriebs
																											ein
																											Beleuchtungsparameter,
																											beispielsweise
																											ein
																											Telezentriewert,
																											über
																											die
																											Messeinrichtung
																											überwacht
																											und
																											über
																											die
																											Steuer-/
																											Regeleinheit
																											durch
																											entsprechendes
																											Nachstellen
																											des
																											Verlagerungsantriebs
																											nachgeregelt.
															 
				
		 EuroPat v2