Übersetzung für "Tetrafluoromethane" in Deutsch
																						Suitable
																											saturated
																											fluorocarbon
																											compounds
																											are,
																											for
																											example,
																											tetrafluoromethane
																											and
																											hexafluoroethane.
																		
			
				
																						Geeignete
																											gesättigte
																											Fluorkohlenwasserstoffverbindungen
																											sind
																											zum
																											Beispiel
																											Tetrafluormethan
																											und
																											Hexafluorethan.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Fluorinated
																											gases
																											like
																											tetrafluoromethane
																											may
																											also
																											be
																											added.
																		
			
				
																						Es
																											können
																											auch
																											fluorierte
																											Gase
																											wie
																											Tetrafluormethan
																											zugeführt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Additional
																											suitable
																											reactive
																											fluorine
																											gases
																											are
																											tetrafluoromethane
																											and
																											other
																											fluorocarbon
																											material
																											or
																											fluorohydrocarbon
																											materials.
																		
			
				
																						Weitere,
																											geeignete
																											reaktive
																											Fluorgase
																											sind
																											Tetrafluormethan
																											sowie
																											andere
																											Fluorkohlenstoffe
																											oder
																											Fluorkohlenwasserstoffe.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Fluorides
																											This
																											subheading
																											includes
																											the
																											following
																											compounds:
																											carbon
																											tetrafluoride
																											(tetrafluoromethane),
																											1,1difluoroethane,
																											tetrafluoroethylene,.
																											trifluoroethylene,
																											trifluoromethane.
																		
			
				
																						Hierher
																											gehören
																											z.B.
																											1,1Difluoräthan,
																											Kohlenstofftetrafluorid
																											(Tetrafluormethan),
																											Tetrafluoräthylen,
																											Trifluoräthylen
																											und
																											Trifluormethan.
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						Advantageously
																											reactive
																											gases
																											such
																											as
																											oxygen
																											or
																											tetrafluoromethane-oxygen
																											are
																											added
																											to
																											the
																											inert
																											gas.
																		
			
				
																						Vorzugsweise
																											werden
																											dem
																											inerten
																											Trägergas
																											reaktive
																											Gase,
																											wie
																											zum
																											Beispiel
																											Sauerstoff
																											oder
																											Tetrafluormethan-Sauerstoff
																											zugesetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Preferably,
																											for
																											this
																											purpose,
																											reactive
																											gases,
																											e.g.
																											oxygen
																											or
																											tetrafluoromethane-oxygen
																											are
																											added
																											to
																											the
																											inert
																											carrier
																											gas.
																		
			
				
																						Vorzugsweise
																											werden
																											dem
																											inerten
																											Trägergas
																											hierzu
																											reaktive
																											Gase,
																											beispielsweise
																											Sauerstoff
																											oder
																											Tetrafluormethan-Sauerstoff,
																											zugesetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Oxygen,
																											nitrogen,
																											tetrafluoromethane,
																											octafluorocyclobutane,
																											carbon
																											dioxide
																											and
																											hydrogen
																											fluoride
																											are
																											preferred
																											reactive
																											gases.
																		
			
				
																						Bevorzugte
																											Reaktivgase
																											sind
																											Sauerstoff,
																											Stickstoff,
																											Tetrafluormethan,
																											Octafluorcyclobutan,
																											Kohlendioxid
																											und
																											Fluorwasserstoff.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Examples
																											of
																											such
																											gases
																											are
																											silane,
																											disilane,
																											dichlorosilane,
																											germane,
																											borane,
																											arsine,
																											hydrogen
																											chloride,
																											ammonia,
																											tetrafluoromethane
																											and
																											various
																											metallic
																											organic
																											compounds.
																		
			
				
																						Beispiele
																											für
																											solche
																											Gase
																											sind
																											Silan,
																											Disilan,
																											Dichlorsilan,
																											German,
																											Boran,
																											Arsin,
																											Chlorwasserstoff,
																											Ammoniak,
																											Tetrafluormethan
																											und
																											verschiedene
																											metallorganische
																											Verbindungen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											cells
																											may
																											contain
																											any
																											gases
																											which
																											are
																											inert
																											to
																											caprolactam,
																											eg.
																											helium,
																											argon,
																											ethane,
																											propene,
																											difluorodichloromethane,
																											tetrafluoromethane,
																											hexamethylenedisilane,
																											etc.
																		
			
				
																						Die
																											Zellen
																											können
																											beliebige
																											gegenüber
																											Caprolactam
																											inerte
																											Gase
																											enthalten,
																											wie
																											Helium,
																											Argon,
																											Ethan,
																											Propen,
																											Difluordichlormethan,
																											Tetrafluormethan,
																											Hexamethyldisilan
																											u.ä..
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Advantageously
																											reactive
																											gases,
																											such
																											as
																											oxygen
																											or
																											tetrafluoromethane-oxygen
																											mixtures,
																											can
																											be
																											added
																											to
																											the
																											inert
																											carrier
																											gas
																											stream.
																		
			
				
																						Vorteilhafter-
																											weise
																											können
																											dem
																											inerten
																											Trägergas
																											reaktive
																											Gase,
																											wie
																											zum
																											Beispiel
																											Sauerstofff
																											oder
																											Tetrafluormethan-Sauerstoff,
																											zugesetzt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						According
																											to
																											one
																											example,
																											a
																											mixture
																											of
																											tetrafluoromethane
																											and
																											oxygen
																											in
																											the
																											ratio
																											of
																											1/3.5
																											can
																											be
																											used.
																		
			
				
																						Nach
																											einem
																											Beispiel
																											kann
																											eine
																											Mischung
																											von
																											Tetrafluormethan/Sauerstoff
																											im
																											Verhältnis
																											von
																											1/3,5
																											verwendet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											arrangement
																											was
																											then
																											etched
																											in
																											a
																											plasma
																											reactor
																											with
																											a
																											gas
																											mixture
																											composed
																											of
																											tetrafluoromethane
																											plus
																											10
																											(volume)
																											percent
																											oxygen
																											given
																											a
																											bias
																											voltage
																											of
																											450
																											volts
																											and
																											a
																											gas
																											pressure
																											of
																											30
																											mTorr.
																		
			
				
																						In
																											einem
																											Plasmareaktor
																											wird
																											die
																											Anordnung
																											nun
																											mit
																											einer
																											Gasmischung,
																											bestehend
																											aus
																											Tetrafluormethan
																											plus
																											10
																											Prozent
																											(Volumen)
																											Sauerstoff
																											bei
																											450V
																											bias-Spannung
																											und
																											30
																											mTorr
																											Gasdruck
																											geätzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Preference
																											is
																											given
																											to
																											using
																											gases
																											which
																											do
																											not
																											react
																											with
																											dinitrogen
																											monoxide,
																											for
																											example
																											nitrogen,
																											helium,
																											neon,
																											argon,
																											krypton,
																											xenon,
																											hydrogen,
																											carbon
																											monoxide,
																											methane
																											and
																											tetrafluoromethane.
																		
			
				
																						Bevorzugt
																											werden
																											Gase
																											eingesetzt,
																											die
																											nicht
																											mit
																											Distickstoffmonoxid
																											reagieren,
																											beispielsweise
																											Stickstoff,
																											Helium,
																											Neon,
																											Argon,
																											Krypton,
																											Xenon,
																											Wasserstoff,
																											Kohlenstoffmonoxid,
																											Methan
																											und
																											Tetrafluormethan.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											process
																											for
																											purifying
																											the
																											gas
																											mixture
																											comprising
																											dinitrogen
																											monoxide
																											according
																											to
																											claim
																											5,
																											wherein
																											the
																											gas
																											mixture
																											M-1
																											is
																											selected
																											from
																											the
																											group
																											consisting
																											of
																											nitrogen,
																											helium,
																											neon,
																											argon,
																											krypton,
																											xenon,
																											hydrogen,
																											carbon
																											monoxide,
																											methane
																											and
																											tetrafluoromethane.
																		
			
				
																						Verfahren
																											zur
																											Reinigung
																											eines
																											Gasgemischs
																											enthaltend
																											Distickstoffmonoxid
																											nach
																											Anspruch
																											7,
																											wobei
																											das
																											Gasgemisch
																											S-1
																											ausgewählt
																											ist
																											aus
																											der
																											Gruppe
																											bestehend
																											aus
																											Stickstoff,
																											Helium,
																											Neon,
																											Argon,
																											Krypton,
																											Xenon,
																											Wasserstoff,
																											Kohlenstoffmonoxid,
																											Methan
																											und
																											Tetrafluormethan.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											a
																											further
																											embodiment,
																											the
																											present
																											invention
																											therefore
																											also
																											relates
																											to
																											a
																											process
																											as
																											described
																											above
																											for
																											purifying
																											a
																											gas
																											mixture
																											comprising
																											dinitrogen
																											monoxide,
																											wherein
																											the
																											gas
																											mixture
																											M-1
																											is
																											selected
																											from
																											the
																											group
																											consisting
																											of
																											nitrogen,
																											helium,
																											neon,
																											argon,
																											krypton,
																											xenon,
																											hydrogen,
																											carbon
																											monoxide,
																											methane
																											and
																											tetrafluoromethane.
																		
			
				
																						Daher
																											betrifft
																											die
																											vorliegende
																											Erfindung
																											gemäß
																											einer
																											weiteren
																											Ausführungsform
																											auch
																											ein
																											wie
																											zuvor
																											beschriebenes
																											Verfahren
																											zur
																											Reinigung
																											eines
																											Gasgemischs
																											enthaltend
																											Distickstoffmonoxid,
																											wobei
																											das
																											Gasgemisch
																											S-1
																											ausgewählt
																											ist
																											aus
																											der
																											Gruppe
																											bestehend
																											aus
																											Stickstoff,
																											Helium,
																											Neon,
																											Argon,
																											Krypton,
																											Xenon,
																											Wasserstoff,
																											Kohlenstoffmonoxid,
																											Methan
																											und
																											Tetrafluormethan.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Use
																											may
																											also
																											be
																											made,
																											however,
																											of
																											low-boiling,
																											optionally
																											halogen-substituted
																											hydrocarbons
																											such
																											as
																											methane,
																											ethane,
																											propane,
																											butane,
																											isobutene,
																											propene,
																											ethane,
																											or
																											tetrafluoromethane,
																											trifluoromethane,
																											difluoromethane,
																											and
																											fluoromethane,
																											and
																											also
																											mixtures
																											of
																											different
																											gases.
																		
			
				
																						Es
																											können
																											aber
																											auch
																											niedrigsiedende
																											ggf.
																											halogensubstituierte
																											Kohlenwasserstoffe
																											wie
																											Methan,
																											Ethan,
																											Propan,
																											Butan,
																											Isobuten,
																											Propen,
																											Ethen
																											oder
																											Tetrafluormethan,
																											Trifluormethan,
																											Difluormethan
																											und
																											Fluormethan
																											sowie
																											Gemische
																											verschiedener
																											Gase
																											eingesetzt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2