Translation of "Backing pump" in German
Backing
pump
duties
are
handled
by
the
dual-stage
oil-free
DIVAC
0.8
VT
diaphragm
vacuum
pump.
Die
Aufgaben
der
Vorpumpe
übernimmt
die
zweistufige
ölfreie
DIVAC
0,8
VT
Diaphragma-Vakuumpumpe.
ParaCrawl v7.1
The
gas-circulation-cooled
Roots
pump
can
also
be
operated
without
a
backing
pump.
Die
gasumlaufgekühlte
Wälzkolbenpumpe
kann
auch
ohne
Vorpumpe
betrieben
werden.
ParaCrawl v7.1
The
two
images
show
the
noise
of
a
backing
pump
broken
down
into
single
frequencies.
Die
beiden
Bilder
zeigen
den
Lärm
einer
Vorpumpe
aufgeschlüsselt
in
die
einzelnen
Frequenzen.
ParaCrawl v7.1
Their
functional
and
design
features
simplify
daily
use
of
the
backing
pump.
Ihre
funktionalen
und
konstruktiven
Merkmale
vereinfachen
den
täglichen
Umgang
mit
der
Vorvakuumpumpe.
ParaCrawl v7.1
In
this
example,
first
of
all,
the
backing
pump
starts
alone.
In
diesem
Beispiel
beginnt
die
Vorpumpe
zunächst
alleine.
ParaCrawl v7.1
It
is
based
on
the
PHOENIX
L300i,
but
it
does
not
inclu-
de
an
integrated
backing
pump.
Es
basiert
auf
dem
PHOENIX
L300i,
hat
aber
keine
integ-
rierte
Vorvakuumpumpe.
ParaCrawl v7.1
The
"backing
pump"
here
refers
to
our
2nd
stage
vacuum
pump
in
the
notes
above.
Die
"Vorpumpe"
bezieht
sich
hier
auf
unseren
2.
Stufe
Vakuumpumpe
in
den
Anmerkungen
oben.
ParaCrawl v7.1
This
vacuum
pump
is
the
optimal
addition
as
a
backing
pump
for
Pfeiffer
Vacuum
turbopumps.
Als
Vorpumpe
für
die
Turbopumpen
von
Pfeiffer
Vacuum
ist
diese
Vakuumpumpe
die
optimale
Ergänzung.
ParaCrawl v7.1
Energy
consumption
of
such
a
pump
system
is
much
less
compared
to
a
single
backing
pump
offering
the
same
pumping
speed.
Der
Energieverbrauch
eines
solchen
Pumpsystems
ist
we-
sentlich
geringer
als
bei
einer
einzelnen
Vorpumpe
gleichen
Saugvermögens.
ParaCrawl v7.1
The
reaction
tube
3
is
evacuated
as
illustrated
by
the
arrow
27
from
a
pump
stand
5
composed
of
a
backing
pump
6,
a
vacuum
booster
7,
and
a
control
valve
8
and
also
including
a
nitrogen
condensation
trap
9.
The
process
gases
which
are
required
for
building
up
the
boron-phosphorus-silicate
glass
layer
to
be
applied
to
the
substrate
wafers
2
are
then
introduced.
Durch
einen
Pumpstand
5,
bestehend
aus
Vorpumpe
6,
Wälzkolbenpumpe
7
und
Regelventil
8
wird
über
eine
Stickstoff-Kühlfalle
9
das
Reaktionsrohr
3
evakuiert
(siehe
Pfeil
28)
und
dann
die
Prozeßgase,
die
zum
Aufbau
der
auf
den
Substratscheiben
2
aufzubringenden
BPSG-Schicht
erforderlich
sind,
eingeleitet.
EuroPat v2
When
valves
8
and
13
are
closed
and
with
valve
14
open,
the
backing
pump
9
may
serve
the
purpose
of
evacuating
the
test
object
or
the
test
chamber
(not
shown),
which,
prior
to
the
leak
detection
process,
is
connected
to
inlet
2.
Sind
die
Ventile
8
und
13
geschlossen,
dann
kann
bei
offenem
Ventil
14
die
Vorvakuumpumpe
9
der
Evakuierung
des
Prüflings
oder
der
Prüfkammer
(nicht
dargestellt)
dienen,
welche
vor
dem
Beginn
der
Lecksuche
mit
dem
Einlaß
2
verbunden
werden.
EuroPat v2
The
cause
for
this
background
is,
in
particular,
helium
from
preceding
measurements
which
has
diffused
into
the
seals
and/or
the
oil
of
the
backing
pump.
Die
Ursache
dieses
Untergrundes
ist
insbesondere
Helium
aus
früheren
Messungen,
das
in
Dichtungen
und/oder
in
das
Öl
der
Vorvakuumpumpe
hineindiffundiert
ist.
EuroPat v2
Following
at
the
discharge
of
the
high
vacuum
pump
6,
is
a
line
7
with
valve
8
which
connects
to
the
inlet
of
the
backing
pump
9.
An
den
Auslaß
der
Hochvakuumpumpe
6
schließt
sich
die
Leitung
7
mit
dem
Ventil
8
an,
welche
mit
dem
Einlaß
der
Vorvakuumpumpe
9
in
Verbindung
steht.
EuroPat v2
At
time
t5,
this
heating
process
is
terminated
so
that
backing
pump
45
can
be
turned
on
again
by
the
opening
of
valve
44.
Zum
Zeitpunkt
t?
ist
diese
Erwärmung
abgeschlossen,
so
daß
die
Vorvakuumpumpe
45
durch
Öffnen
des
Ventiles
44
wieder
zugeschaltet
werden
kann.
EuroPat v2
The
gas
supply
channel
8
connects
the
inlet
9
of
the
pump
(inlet
side,
HV
area)
which
is
formed
by
connection
flange
11
to
the
outlet
12,
to
which
a
backing
pump
is
normally
connected
(exhaust
side,
FV
area).
Der
Gasförderkanal
8
verbindet
den
Einlaß
9
der
Pumpe
(Eintrittsseite,
HV-Bereich),
gebildet
vom
Anschlußflansch
11,
mit
dem
Auslaß
12,
an
den
üblicherweise
eine
Vorvakuumpumpe
angeschlossen
ist
(Austrittsseite,
VV-Bereich).
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
process
for
regenerating
a
cryopump
operated
with
a
refrigeration
unit
and
including
an
inlet
valve,
cold
surfaces
which,
during
operation
of
the
pump,
have
a
temperature
that
causes
gases
to
condense
and
which
are
heated
for
the
purpose
of
regenerating
them,
the
cryopump
further
including
a
backing
pump
that
is
connected
with
the
interior
of
the
pump
by
way
of
a
valve.
Die
Erfindung
bezieht
sich
auf
ein
Verfahren
zur
Regeneration
einer
mit
einem
Refrigerator
betriebenen
Kryopumpe
mit
einem
Einlaßventil,
mit
Pumpflächen,
die
während
des
Betriebs
der
Pumpe
eine
die
Kondensation
von
Gasen
bewirkende
Temperatur
haben
und
die
zum
Zwecke
ihrer
Regeneration
beheizt
werden,
sowie
mit
einer
an
den
Pumpeninnenraum
über
ein
Ventil
angeschlossenen
Vorvakuumpumpe.
EuroPat v2
In
a
cryopump
operated
with
a
two-
or
multi-stage
refrigeration
unit
and
equipped
with
cold
surfaces
which,
during
operation
of
the
pump,
have
a
temperature
that
permits
the
adsorption
of
light
gases
and
the
condensation
of
further
gases,
it
is
advisable,
in
a
modification
of
the
above-described
process,
to
open
the
connection
between
the
pump
interior
and
the
backing
pump
after
the
start
of
the
regeneration
process
until
desorption
of
the
light
gases
has
occurred
at
relatively
low
pressures.
Bei
einer
mit
einem
zwei-
oder
mehrstufigen
Refrigerator
betriebenen
Kryopumpe
mit
Pumpflächen,
die
während
des
Betriebs
der
Pumpe
eine
die
Adsorption
leichter
Gase
und
die
Kondensation
weiterer
Gase
erlaubende
Temperatur
haben,
ist
es
in
Abwandlung
des
oben
beschriebenen
Verfahrens
zweckmäßig,
wenn
nach
der
Einleitung
des
Regenerierverfahrens
die
Verbindung
zwischem
dem
Pumpeninnenraum
und
der
Vorvakuumpumpe
so
lange
geöffnet
wird,
bis
bei
relativ
niedrigen
Drücken
eine
Desorption
der
leichten
Gase
stattgefunden
hat.
EuroPat v2
Since
heating
is
no
longer
necessary
after
the
regeneration
is
completed
and
after
the
valve
has
been
closed
and
heated
to
ambient
temperature,
the
information
furnished
by
the
temperature
sensor
can
be
used
to
initiate
the
steps
required
after
the
regeneration--switching
in
the
backing
pump,
delayed
turn-off
of
the
heating
elements
for
the
cold
surfaces,
start
of
operation
of
the
refrigeration
unit
or
the
like.
Da
eine
Heizleistung
nach
der
Beendigung
der
Regeneration
und
nach
dem
Schließen
und
Erwärmen
des
Ventils
auf
Umgebungstemperatur
nicht
mehr
erforderlich
ist,
kann
die
vom
Temperatursensor
gelieferte
Information
dazu
verwendet
werden,
die
im
Anschluß
an
die
Regeneration
notwendigen
Schritte
-
Zuschalten
der
Vorvakuumpumpe,
verzögertes
Abschalten
der
Pumpflächenheizung,
Inbetriebsetzen
des
Refrigerators
o.
dgl.
einzuleiten.
EuroPat v2
When
combined
with
other
Roots
pumps
or
the
appropriate
backing
pump,
Roots
pumps
can
be
perfectly
adapted
to
the
particular
application.
In
Kombination
mit
anderen
Wälzkolbenpumpen
oder
der
entsprechenden
Vorpumpe
können
Wälzkolbenpumpen
perfekt
auf
die
jeweilige
Applikation
angepasst
werden.
ParaCrawl v7.1
The
designers
went
without
an
integrated
backing
pump
leaving
more
flexibility,
not
least
due
to
its
low
weight
of
30
kilograms.
Der
Verzicht
der
Entwickler
auf
eine
integrierte
Vorpumpe
bedingt
seinen
flexiblen
Einsatz,
nicht
zuletzt
durch
sein
niedriges
Gewicht
von
30
Kilogramm.
ParaCrawl v7.1
In
the
first
stage,
the
backing
pump
reduces
the
pressure
of
the
medium
available
in
a
reservoir
or
a
room
to
a
pre-vacuum
of
e.g.
200
mbar
abs.
In
der
ersten
Stufe
reduziert
die
Vorpumpe
den
Druck
des
in
einem
Behälter
oder
einem
Raum
vorhandenen
Mediums
auf
ein
Vorvakuum
von
z.
B.
200
mbar
abs.
ParaCrawl v7.1