Übersetzung für "Backing pump" in Deutsch

Backing pump duties are handled by the dual-stage oil-free DIVAC 0.8 VT diaphragm vacuum pump.
Die Aufgaben der Vorpumpe übernimmt die zweistufige ölfreie DIVAC 0,8 VT Diaphragma-Vakuumpumpe.
ParaCrawl v7.1
The gas-circulation-cooled Roots pump can also be operated without a backing pump.
Die gasumlaufgekühlte Wälzkolbenpumpe kann auch ohne Vorpumpe betrieben werden.
ParaCrawl v7.1
The two images show the noise of a backing pump broken down into single frequencies.
Die beiden Bilder zeigen den Lärm einer Vorpumpe aufgeschlüsselt in die einzelnen Frequenzen.
ParaCrawl v7.1
Their functional and design features simplify daily use of the backing pump.
Ihre funktionalen und konstruktiven Merkmale vereinfachen den täglichen Umgang mit der Vorvakuumpumpe.
ParaCrawl v7.1
In this example, first of all, the backing pump starts alone.
In diesem Beispiel beginnt die Vorpumpe zunächst alleine.
ParaCrawl v7.1
It is based on the PHOENIX L300i, but it does not inclu- de an integrated backing pump.
Es basiert auf dem PHOENIX L300i, hat aber keine integ- rierte Vorvakuumpumpe.
ParaCrawl v7.1
The "backing pump" here refers to our 2nd stage vacuum pump in the notes above.
Die "Vorpumpe" bezieht sich hier auf unseren 2. Stufe Vakuumpumpe in den Anmerkungen oben.
ParaCrawl v7.1
This vacuum pump is the optimal addition as a backing pump for Pfeiffer Vacuum turbopumps.
Als Vorpumpe für die Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum ist diese Vakuumpumpe die optimale Ergänzung.
ParaCrawl v7.1
Energy consumption of such a pump system is much less compared to a single backing pump offering the same pumping speed.
Der Energieverbrauch eines solchen Pumpsystems ist we- sentlich geringer als bei einer einzelnen Vorpumpe gleichen Saugvermögens.
ParaCrawl v7.1
The reaction tube 3 is evacuated as illustrated by the arrow 27 from a pump stand 5 composed of a backing pump 6, a vacuum booster 7, and a control valve 8 and also including a nitrogen condensation trap 9. The process gases which are required for building up the boron-phosphorus-silicate glass layer to be applied to the substrate wafers 2 are then introduced.
Durch einen Pumpstand 5, bestehend aus Vorpumpe 6, Wälzkolbenpumpe 7 und Regelventil 8 wird über eine Stickstoff-Kühlfalle 9 das Reaktionsrohr 3 evakuiert (siehe Pfeil 28) und dann die Prozeßgase, die zum Aufbau der auf den Substratscheiben 2 aufzubringenden BPSG-Schicht erforderlich sind, eingeleitet.
EuroPat v2
When valves 8 and 13 are closed and with valve 14 open, the backing pump 9 may serve the purpose of evacuating the test object or the test chamber (not shown), which, prior to the leak detection process, is connected to inlet 2.
Sind die Ventile 8 und 13 geschlossen, dann kann bei offenem Ventil 14 die Vorvakuumpumpe 9 der Evakuierung des Prüflings oder der Prüfkammer (nicht dargestellt) dienen, welche vor dem Beginn der Lecksuche mit dem Einlaß 2 verbunden werden.
EuroPat v2
The cause for this background is, in particular, helium from preceding measurements which has diffused into the seals and/or the oil of the backing pump.
Die Ursache dieses Untergrundes ist insbesondere Helium aus früheren Messungen, das in Dichtungen und/oder in das Öl der Vorvakuumpumpe hineindiffundiert ist.
EuroPat v2
Following at the discharge of the high vacuum pump 6, is a line 7 with valve 8 which connects to the inlet of the backing pump 9.
An den Auslaß der Hochvakuumpumpe 6 schließt sich die Leitung 7 mit dem Ventil 8 an, welche mit dem Einlaß der Vorvakuumpumpe 9 in Verbindung steht.
EuroPat v2
At time t5, this heating process is terminated so that backing pump 45 can be turned on again by the opening of valve 44.
Zum Zeitpunkt t? ist diese Erwärmung abgeschlossen, so daß die Vorvakuumpumpe 45 durch Öffnen des Ventiles 44 wieder zugeschaltet werden kann.
EuroPat v2
The gas supply channel 8 connects the inlet 9 of the pump (inlet side, HV area) which is formed by connection flange 11 to the outlet 12, to which a backing pump is normally connected (exhaust side, FV area).
Der Gasförderkanal 8 verbindet den Einlaß 9 der Pumpe (Eintrittsseite, HV-Bereich), gebildet vom Anschlußflansch 11, mit dem Auslaß 12, an den üblicherweise eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist (Austrittsseite, VV-Bereich).
EuroPat v2
The invention relates to a process for regenerating a cryopump operated with a refrigeration unit and including an inlet valve, cold surfaces which, during operation of the pump, have a temperature that causes gases to condense and which are heated for the purpose of regenerating them, the cryopump further including a backing pump that is connected with the interior of the pump by way of a valve.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Regeneration einer mit einem Refrigerator betriebenen Kryopumpe mit einem Einlaßventil, mit Pumpflächen, die während des Betriebs der Pumpe eine die Kondensation von Gasen bewirkende Temperatur haben und die zum Zwecke ihrer Regeneration beheizt werden, sowie mit einer an den Pumpeninnenraum über ein Ventil angeschlossenen Vorvakuumpumpe.
EuroPat v2
In a cryopump operated with a two- or multi-stage refrigeration unit and equipped with cold surfaces which, during operation of the pump, have a temperature that permits the adsorption of light gases and the condensation of further gases, it is advisable, in a modification of the above-described process, to open the connection between the pump interior and the backing pump after the start of the regeneration process until desorption of the light gases has occurred at relatively low pressures.
Bei einer mit einem zwei- oder mehrstufigen Refrigerator betriebenen Kryopumpe mit Pumpflächen, die während des Betriebs der Pumpe eine die Adsorption leichter Gase und die Kondensation weiterer Gase erlaubende Temperatur haben, ist es in Abwandlung des oben beschriebenen Verfahrens zweckmäßig, wenn nach der Einleitung des Regenerierverfahrens die Verbindung zwischem dem Pumpeninnenraum und der Vorvakuumpumpe so lange geöffnet wird, bis bei relativ niedrigen Drücken eine Desorption der leichten Gase stattgefunden hat.
EuroPat v2
Since heating is no longer necessary after the regeneration is completed and after the valve has been closed and heated to ambient temperature, the information furnished by the temperature sensor can be used to initiate the steps required after the regeneration--switching in the backing pump, delayed turn-off of the heating elements for the cold surfaces, start of operation of the refrigeration unit or the like.
Da eine Heizleistung nach der Beendigung der Regeneration und nach dem Schließen und Erwärmen des Ventils auf Umgebungstemperatur nicht mehr erforderlich ist, kann die vom Temperatursensor gelieferte Information dazu verwendet werden, die im Anschluß an die Regeneration notwendigen Schritte - Zuschalten der Vorvakuumpumpe, verzögertes Abschalten der Pumpflächenheizung, Inbetriebsetzen des Refrigerators o. dgl. einzuleiten.
EuroPat v2
When combined with other Roots pumps or the appropriate backing pump, Roots pumps can be perfectly adapted to the particular application.
In Kombination mit anderen Wälzkolbenpumpen oder der entsprechenden Vorpumpe können Wälzkolbenpumpen perfekt auf die jeweilige Applikation angepasst werden.
ParaCrawl v7.1
The designers went without an integrated backing pump leaving more flexibility, not least due to its low weight of 30 kilograms.
Der Verzicht der Entwickler auf eine integrierte Vorpumpe bedingt seinen flexiblen Einsatz, nicht zuletzt durch sein niedriges Gewicht von 30 Kilogramm.
ParaCrawl v7.1
In the first stage, the backing pump reduces the pressure of the medium available in a reservoir or a room to a pre-vacuum of e.g. 200 mbar abs.
In der ersten Stufe reduziert die Vorpumpe den Druck des in einem Behälter oder einem Raum vorhandenen Mediums auf ein Vorvakuum von z. B. 200 mbar abs.
ParaCrawl v7.1

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