Translation of "Gate length" in German
																						The
																											effective
																											gate
																											length
																											E
																											can
																											be
																											measured
																											and
																											can
																											be
																											monitored
																											for
																											individual
																											transistors.
																		
			
				
																						Diese
																											effektive
																											Kanallänge
																											E
																											ist
																											meßbar
																											und
																											kann
																											für
																											einzelne
																											Transistoren
																											überwacht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											size
																											is
																											typically
																											dictated
																											by
																											the
																											minimum
																											feasible
																											gate
																											length
																											of
																											an
																											MOS
																											transistor.
																		
			
				
																						Diese
																											ist
																											üblicherweise
																											mit
																											der
																											minimal
																											herstellbaren
																											Gatelänge
																											eines
																											MOS-Transistors
																											gegeben.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											gate-length
																											can
																											be
																											set
																											in
																											16
																											steps.
																		
			
				
																						Die
																											Gate-Länge
																											kann
																											in
																											16
																											Schritten
																											eingestellt
																											werden.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											gate
																											length
																											is
																											determined
																											by
																											the
																											pulse
																											width
																											of
																											the
																											clock.
																		
			
				
																						Die
																											Gate-Länge
																											wird
																											durch
																											die
																											Pulsbreite
																											des
																											Taktsignals
																											bestimmt.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											requirement
																											for
																											higher
																											integration
																											density
																											in
																											integrated
																											circuits
																											signifies
																											a
																											reduction
																											in
																											gate
																											length,
																											in
																											particular
																											for
																											field
																											effect
																											transistors.
																		
			
				
																						Die
																											Forderung
																											nach
																											hoher
																											Integrationsdichte
																											bei
																											integrierten
																											Schaltungen
																											bedeutet
																											für
																											Feldeffekttransistoren
																											insbesondere
																											eine
																											Reduktion
																											der
																											Gatelänge.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											AD-Mode
																											the
																											gate
																											length
																											is
																											being
																											ignored
																											and
																											allows
																											for
																											very
																											short,
																											percussive
																											envelopes.
																		
			
				
																						Im
																											AD-Modus
																											wird
																											die
																											Gate-Länge
																											ignoriert
																											und
																											erlaubt
																											so
																											sehr
																											kurze,
																											perkussive
																											Hüllkurven.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						In
																											addition
																											that
																											source-drain
																											spacing
																											also
																											limits
																											the
																											possible
																											reduction
																											in
																											the
																											effective
																											gate
																											length
																											of
																											a
																											conventional
																											field
																											effect
																											transistor.
																		
			
				
																						Dieser
																											Source-Drain-Abstand
																											beschränkt
																											darüber
																											hinaus
																											auch
																											die
																											mögliche
																											Reduzierung
																											der
																											effektiven
																											Gatelänge
																											eines
																											herkömmlichen
																											Feldeffekttransistors.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											area
																											of
																											the
																											gate,
																											width×length,
																											approximately
																											corresponds
																											to
																											the
																											area
																											enclosed
																											by
																											the
																											broken
																											line
																											37A
																											in
																											FIG.
																		
			
				
																						Die
																											Fläche
																											des
																											Gate,
																											Breite
																											x
																											Länge,
																											entspricht
																											ungefähr
																											der
																											von
																											der
																											unterbrochenen
																											Linie
																											37A
																											in
																											Fig.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											distance
																											between
																											the
																											source
																											and
																											the
																											drain
																											electrode
																											S
																											and
																											D,
																											respectively,
																											is
																											8
																											?m
																											and
																											the
																											gate
																											length
																											in
																											the
																											direction
																											of
																											the
																											current
																											is
																											1
																											?m.
																		
			
				
																						Der
																											Abstand
																											zwischen
																											der
																											Source-
																											und
																											der
																											Drainelektrode
																											S
																											beziehungsweise
																											D
																											beträgt
																											8
																											µm,
																											die
																											Gatelänge
																											in
																											Stromrichtung
																											1
																											µm.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											embodiment
																											is
																											therefore
																											advantageous
																											for
																											manufacturing
																											CMOS
																											circuits
																											having
																											transistors
																											with
																											short
																											gate
																											length
																											that
																											can
																											be
																											operated
																											at
																											reduced
																											supply
																											voltage.
																		
			
				
																						Diese
																											Ausführungsform
																											ist
																											daher
																											zur
																											Herstellung
																											von
																											CMOS-Schaltungen
																											mit
																											Transistoren
																											mit
																											kurzer
																											Gatelänge,
																											die
																											bei
																											reduzierter
																											Versorgungsspannung
																											betrieben
																											werden
																											können,
																											vorteilhaft
																											einsetzbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						When,
																											for
																											example
																											in
																											the
																											method
																											step
																											with
																											which
																											the
																											passivation
																											layer
																											was
																											structured,
																											a
																											photolithographically
																											defined
																											opening
																											9
																											of
																											this
																											passivation
																											layer
																											was
																											determined
																											in
																											the
																											region
																											of
																											the
																											gate
																											to
																											be
																											manufactured
																											500
																											nm
																											in
																											the
																											direction
																											of
																											source
																											toward
																											drain
																											and
																											when
																											the
																											spaces
																											11
																											at
																											the
																											low
																											end
																											have
																											an
																											expanse
																											of
																											150
																											nm,
																											then
																											a
																											gate
																											length
																											of
																											200
																											nm
																											derives.
																		
			
				
																						War
																											z.
																											B.
																											in
																											dem
																											Verfahrensschritt,
																											mit
																											dem
																											die
																											Passivierungsschicht
																											8
																											strukturiert
																											wurde,
																											eine
																											fotolithographisch
																											definierte
																											Öffnung
																											9
																											dieser
																											Passivierungsschicht
																											im
																											Bereich
																											des
																											herzustellenden
																											Gate
																											von
																											500
																											nm
																											in
																											Richtung
																											von
																											Source
																											nach
																											Drain
																											vorgegeben
																											und
																											haben
																											die
																											Spacer
																											11
																											am
																											Fußpunkt
																											eine
																											Ausdehnung
																											von
																											150
																											nm,
																											so
																											ergibt
																											sich
																											eine
																											Gatelänge
																											von
																											200
																											nm.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											case,
																											it
																											is
																											immaterial
																											whether
																											a
																											resistance
																											measurement,
																											the
																											sensing
																											of
																											individual
																											contacts
																											or
																											the
																											determination
																											of
																											an
																											effective
																											gate
																											length
																											is
																											involved.
																		
			
				
																						Dabei
																											ist
																											es
																											unerheblich,
																											ob
																											es
																											sich
																											hierbei
																											um
																											eine
																											Widerstandsmessung,
																											um
																											das
																											Erfassen
																											von
																											Einzelkontakten,
																											oder
																											die
																											Bestimmung
																											einer
																											effektiven
																											Kanallänge
																											handelt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Since
																											moreover
																											the
																											charge
																											carrier
																											type
																											of
																											the
																											field
																											plate
																											polysilicon
																											matches
																											that
																											of
																											the
																											well
																											located
																											beneath
																											it,
																											virtual
																											flat
																											band
																											conditions
																											always
																											prevail
																											at
																											the
																											semiconductor
																											surface,
																											which
																											guarantees
																											reliable
																											isolation
																											between
																											adjacent
																											active
																											regions,
																											at
																											least
																											whenever
																											the
																											isolation
																											length
																											is
																											no
																											shorter
																											than
																											the
																											minimum
																											allowed
																											gate
																											length
																											of
																											the
																											complementary
																											MOSFETs.
																		
			
				
																						Da
																											außerdem
																											der
																											Ladungsträgertyp
																											des
																											Feldplatten-Polysiliziums
																											dem
																											der
																											darunter
																											liegenden
																											Wanne
																											entspricht,
																											herrschen
																											an
																											der
																											Halbleiteroberfläche
																											immer
																											nahezu
																											Flachbandbedingungen,
																											was
																											eine
																											sichere
																											Isolation
																											zwischen
																											benachbarten
																											aktiven
																											Bereichen
																											garantiert,
																											mindestens
																											dann,
																											wenn
																											die
																											Isolationslänge
																											nicht
																											kürzer
																											ist
																											als
																											die
																											kleinste
																											zugelassene
																											Gatelänge
																											der
																											komplementären
																											MOSFETs.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Simply
																											as
																											a
																											result
																											of
																											the
																											reduction
																											in
																											the
																											dimensions
																											of
																											previously
																											known
																											transistor
																											structures,
																											for
																											example
																											reduction
																											in
																											the
																											gate
																											length
																											of
																											a
																											field-effect
																											transistor
																											to
																											about
																											100
																											nanometers,
																											the
																											resistance
																											is
																											drastically
																											increased
																											due
																											to
																											lithographic
																											and
																											physical
																											effects
																											(“narrow
																											line
																											effects”),
																											in
																											particular
																											if
																											conventional
																											siliciding
																											of
																											gate
																											electrodes
																											is
																											used
																											for
																											contact-connecting
																											the
																											latter,
																											since
																											the
																											small
																											amount
																											of
																											material
																											is
																											reduced
																											even
																											further
																											here.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											bloße
																											Reduzierung
																											der
																											Dimensionen
																											der
																											bisher
																											bekannten
																											Transistor-Strukturen,
																											beispielsweise
																											Reduktion
																											der
																											Gate-Länge
																											eines
																											Feldeffekttransistors
																											auf
																											etwa
																											100
																											Nanometer,
																											wird
																											der
																											Widerstand
																											durch
																											lithografische
																											und
																											physikalische
																											Effekte
																											("narrow
																											line
																											effects")
																											drastisch
																											erhöht,
																											insbesondere
																											sofern
																											man
																											herkömmliche
																											Silizidierung
																											von
																											Gate-Elektroden
																											zur
																											Kontaktierung
																											derselben
																											heranzieht,
																											da
																											hier
																											das
																											wenige
																											Material
																											noch
																											weiter
																											reduziert
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											therefore
																											an
																											object
																											of
																											the
																											present
																											invention
																											to
																											provide
																											a
																											method
																											for
																											producing
																											a
																											semiconductor
																											component
																											and
																											a
																											semiconductor
																											element
																											on
																											a
																											III-V
																											compound
																											semiconductor
																											substrate,
																											which
																											possesses
																											advantageous
																											properties,
																											and
																											is
																											stable
																											in
																											the
																											long
																											term,
																											even
																											at
																											a
																											small
																											gate
																											length.
																		
			
				
																						Aufgabe
																											der
																											vorliegenden
																											Erfindung
																											ist
																											es,
																											ein
																											Verfahren
																											zur
																											Herstellung
																											eines
																											Halbleiterbauelements
																											und
																											ein
																											Halbleiterelement
																											auf
																											einen
																											III-V-Verbindungshalbleitersubstrat
																											anzugeben,
																											welches
																											auch
																											bei
																											kleiner
																											Gatelänge
																											günstige
																											und
																											langzeitstabile
																											Eigenschaften
																											besitzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Regardless
																											of
																											the
																											spacing
																											between
																											cathode
																											contact
																											(8)
																											and
																											gate
																											(7),
																											the
																											length
																											of
																											the
																											n-type
																											regions
																											(5c)
																											can
																											thereby
																											be
																											reduced
																											to
																											such
																											an
																											extent
																											that
																											latching-up
																											of
																											the
																											component
																											is
																											virtually
																											impossible.
																		
			
				
																						Die
																											Länge
																											der
																											n-Bereiche
																											(5c)
																											lässt
																											sich
																											dadurch
																											unabhängig
																											vom
																											Abstand
																											zwischen
																											Kathodenkontakt
																											(8)
																											und
																											Gate
																											(7)
																											soweit
																											verkleinern,
																											dass
																											ein
																											Einrasten
																											des
																											Bauelements
																											praktisch
																											unmöglich
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A1,
																											from
																											which
																											A2,
																											B2
																											and
																											C2
																											were
																											divided
																											out,
																											defined
																											in
																											claim
																											1
																											as
																											well
																											as
																											in
																											the
																											"statement
																											of
																											invention"
																											an
																											active
																											matrix
																											panel
																											comprising
																											thin
																											film
																											transistors
																											(TFTs)
																											in
																											which
																											the
																											TFTs
																											of
																											the
																											gate
																											or
																											source
																											drive
																											line
																											circuits
																											are
																											complementary
																											and
																											have
																											a
																											gate
																											length
																											shorter
																											than
																											that
																											of
																											the
																											TFTs
																											of
																											the
																											picture
																											element
																											matrix
																											(cf.
																											A1
																											as
																											published,
																											page
																											3,
																											lines
																											46
																											to
																											52).
																		
			
				
																						In
																											der
																											Anmeldung
																											A1,
																											aus
																											der
																											A2,
																											B2
																											und
																											C2
																											ausgeschieden
																											wurden,
																											werde
																											sowohl
																											in
																											Anspruch
																											1
																											als
																											auch
																											in
																											der
																											Darstellung
																											des
																											Erfindungsgedankens
																											in
																											der
																											Beschreibungseinleitung
																											Folgendes
																											definiert:
																											eine
																											Aktivmatrixtafel,
																											umfassend
																											Dünnfilmtransistoren
																											(TFTs),
																											wobei
																											die
																											TFTs
																											der
																											Gate-
																											und
																											der
																											Source-Leitungs-Treiberschaltung
																											komplementär
																											sind
																											und
																											eine
																											Gate-Länge
																											haben,
																											die
																											kürzer
																											als
																											diejenige
																											der
																											TFTs
																											der
																											Bildelementenmatrix
																											ist
																											(vgl.
																											A1
																											in
																											der
																											veröffentlichten
																											Fassung,
																											S.
																											3,
																											Zeilen
																											46
																											bis
																											52).
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Note
																											Number,
																											Velocity,
																											Gate
																											Length
																											(on
																											Note
																											Events,
																											Aftertouch,
																											etc..)
																		
			
				
																						Notennummern,
																											Velocity,
																											Gate-Länge
																											(von
																											Noten-Events,
																											Aftertouch,
																											etc..)
																											zugewiesen
																											werden
																											können.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						In
																											Edit
																											Mode,
																											the
																											buttons
																											select
																											and
																											modify
																											various
																											parameters
																											such
																											as
																											gate
																											length,
																											clock
																											division,
																											swing,
																											delay
																											and
																											probability,
																											as
																											indicated
																											by
																											the
																											labels
																											beneath
																											the
																											bottom
																											row
																											of
																											buttons.
																		
			
				
																						Im
																											Edit-Modus
																											wählen
																											und
																											ändern
																											die
																											Taster
																											verschiedene
																											Parameter
																											wie
																											Gate-Länge,
																											Taktteilung,
																											Swing,
																											Verzögerung
																											und
																											Wahrscheinlichkeit,
																											wie
																											die
																											Beschriftungen
																											unterhalb
																											der
																											unteren
																											Tastenreihe
																											zeigen.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1