Translation of "Resist layer" in German
																						The
																											remainder
																											of
																											resist
																											layer
																											28
																											may
																											then
																											be
																											stripped.
																		
			
				
																						Der
																											Rest
																											der
																											Lackschicht
																											28
																											kann
																											anschliessend
																											entfernt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											resist
																											layer
																											31
																											is
																											then
																											stripped.
																		
			
				
																						Hiernach
																											wird
																											die
																											Photolackschicht
																											31
																											abgezogen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											upper
																											resist
																											layer
																											4
																											is
																											selectively
																											etchable
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											stop
																											layer
																											3.
																		
			
				
																						Diese
																											obere
																											Lackschicht
																											4
																											ist
																											wiederum
																											bezüglich
																											der
																											Stoppschicht
																											3
																											selektiv
																											ätzbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											actual
																											resist
																											layer,
																											which
																											is
																											exposed
																											through
																											an
																											image,
																											is
																											applied
																											to
																											the
																											planarization
																											layer.
																		
			
				
																						Auf
																											die
																											Planarisierungsschicht
																											wird
																											die
																											eigentliche
																											Resistschicht
																											aufgebracht,
																											die
																											bildmäßig
																											belichtet
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											surface
																											of
																											the
																											cohesive
																											resist
																											layer
																											can
																											be
																											machined
																											flat
																											mechanically,
																											as
																											desired.
																		
			
				
																						Die
																											Oberfläche
																											der
																											zusammenhängenden
																											Resist-Schicht
																											kann
																											bei
																											Bedarf
																											mechanisch
																											plan
																											bearbeitet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											mask
																											and
																											resist
																											layer
																											described
																											in
																											KfK-4414
																											may
																											be
																											used
																											in
																											the
																											process
																											of
																											the
																											present
																											invention.
																		
			
				
																						Maske
																											und
																											Resistschicht
																											lassen
																											sich
																											in
																											der
																											in
																											KfK-4414
																											beschriebenen
																											Weise
																											herstellen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											surface
																											of
																											the
																											cohesive
																											resist
																											layer
																											can
																											be
																											machined
																											flat
																											mechanically,
																											if
																											desired.
																		
			
				
																						Die
																											Oberfläche
																											der
																											zusammenhängenden
																											Resist-Schicht
																											kann
																											bei
																											Bedarf
																											mechanisch
																											plan
																											bearbeitet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											implantation,
																											the
																											resist
																											layer
																											42
																											is
																											stripped.
																		
			
				
																						Nach
																											Anschluß
																											des
																											Implantationsvorgangs
																											wird
																											die
																											Photolackschicht
																											42
																											wieder
																											abgezogen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											thickness
																											of
																											the
																											photosensitive
																											resist
																											layer
																											depends
																											on
																											the
																											particular
																											use.
																		
			
				
																						Die
																											Schichtdicke
																											der
																											lichtempfindlichen
																											Resistschicht
																											hängt
																											von
																											der
																											jeweiligen
																											Anwendung
																											ab.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											dry
																											resist
																											layer
																											is
																											prepared
																											by
																											coating
																											with
																											the
																											following
																											solution:
																		
			
				
																						Die
																											Trockenresistschicht
																											wurde
																											durch
																											Beschichten
																											mit
																											folgender
																											Lösung
																											hergestellt:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Subsequently,
																											the
																											resist
																											layer
																											is
																											dried
																											for
																											20
																											minutes
																											at
																											85°
																											C.
																		
			
				
																						Anschließend
																											wird
																											die
																											Lackschicht
																											20
																											Minuten
																											lang
																											bei
																											85°C
																											getrocknet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											resist
																											layer
																											is
																											then
																											exposed
																											through
																											an
																											irradiation
																											mask
																											pattern.
																		
			
				
																						Daraufhin
																											wird
																											die
																											Lackschicht
																											durch
																											ein
																											Bestrahlungsmaskenmuster
																											hindurch
																											belichtet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											the
																											resist
																											layer
																											has
																											been
																											exposed,
																											a
																											high-contrast
																											image
																											is
																											obtained
																											in
																											the
																											layer.
																		
			
				
																						Nach
																											dem
																											Belichten
																											der
																											Resistschicht
																											wird
																											ein
																											kontrastreiches
																											Bild
																											in
																											der
																											Schicht
																											erhalten.
															 
				
		 EuroPat v2