Translation of "Silicon monoxide" in German
																						Silicon
																											monoxide
																											is
																											evaporated
																											on
																											to
																											a
																											silicon
																											wafer.
																		
			
				
																						Auf
																											ein
																											Siliciumplättchen
																											wird
																											Siliciummonoxid
																											aufgedampft.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											layer
																											7
																											can
																											be,
																											for
																											example,
																											composed
																											of
																											silicon
																											monoxide
																											or
																											magnesium
																											oxide.
																		
			
				
																						Die
																											Schicht
																											7
																											kann
																											dabei
																											z.B.
																											aus
																											Siliziummonoxid
																											oder
																											Magnesiumoxid
																											bestehen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Besides
																											metal
																											as
																											a
																											material,
																											one
																											might
																											consider
																											in
																											particular
																											silicon
																											or
																											silicon
																											monoxide.
																		
			
				
																						Neben
																											Metall
																											als
																											Material
																											kommen
																											dabei
																											insbesondere
																											Silizium
																											bzw.
																											Siliziummonoxid
																											in
																											Frage.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											resistance
																											layers
																											consist
																											of
																											chromium
																											while
																											the
																											insulation
																											layers
																											may
																											consist
																											of
																											silicon
																											monoxide
																											or
																											silicon
																											dioxide.
																		
			
				
																						Die
																											Widerstandsschichten
																											bestehen
																											dabei
																											aus
																											Chrpm,
																											während
																											die
																											Isolationsschichten
																											aus
																											Siliziummonoxid
																											oder
																											Siliziumdioxid
																											bestehen
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If,
																											e.g.,
																											silicon
																											monoxide
																											is
																											vapor
																											deposited,
																											the
																											vapor
																											deposited
																											SiOx
																											layer
																											absorbs
																											more
																											oxygen.
																		
			
				
																						Wird
																											z.B.
																											Siliciummonoxid
																											aufgedampft,
																											so
																											nimmt
																											die
																											aufgedampfte
																											SiO
																											x
																											-Schicht
																											noch
																											Sauerstoff
																											auf.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											also
																											known
																											that
																											silicon
																											dioxide
																											reacts
																											with
																											liquid
																											silicon
																											to
																											form
																											volatile
																											silicon
																											monoxide.
																		
			
				
																						Es
																											ist
																											ferner
																											bekannt,
																											daß
																											Siliciumdioxid
																											mit
																											flüssigem
																											Silicium
																											zu
																											flüchtigem
																											Siliciummonoxid
																											reagiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											example,
																											according
																											to
																											DE-OS
																											No.
																											23
																											37
																											495
																											a
																											plasma
																											burner
																											of
																											silicon
																											dioxide
																											is
																											used
																											for
																											producing
																											silicon
																											monoxide
																											as
																											an
																											intermediate
																											product,
																											which
																											is
																											re-oxidized
																											in
																											the
																											presence
																											of
																											steam
																											and
																											amine,
																											resulting
																											in
																											a
																											silicic
																											acid
																											having
																											a
																											remarkably
																											increased
																											thickening
																											effect.
																		
			
				
																						Beispielsweise
																											wird
																											nach
																											DE-OS
																											23
																											37
																											495
																											mit
																											Hilfe
																											eines
																											Plasmabrenners
																											aus
																											Siliciumdioxid,
																											Siliciummonoxid
																											als
																											Zwischenprodukt
																											erzeugt,
																											das
																											nach
																											Rückoxidation
																											in
																											Gegenwart
																											von
																											Wasserdampf
																											und
																											Amin
																											in
																											stark
																											verdickend
																											wirkende
																											Kieselsäure
																											überführt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											device
																											according
																											to
																											claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											material
																											evaporates
																											by
																											sublimation
																											in
																											a
																											high
																											vacuum,
																											said
																											material
																											being
																											selected
																											from
																											the
																											group
																											consisting
																											of
																											silicon
																											monoxide,
																											magnesium
																											oxide,
																											mixtures
																											of
																											metals
																											and
																											their
																											oxides,
																											and
																											chromium
																											metal.
																		
			
				
																						Reihenverdampfer
																											nach
																											Anspruch
																											1,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											das
																											zu
																											verdampfende
																											Material
																											eine
																											im
																											Hochvakuum
																											durch
																											Sublimation
																											verdampfende
																											Substanz,
																											wie
																											z.B.
																											Siliziummonoxid,
																											Magnesiumoxid,
																											Gemische
																											von
																											Metallen
																											und
																											deren
																											Oxiden,
																											Chrom-Metall
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											very
																											advantageous
																											if
																											in
																											accordance
																											with
																											the
																											invention
																											the
																											material
																											that
																											is
																											to
																											be
																											evaporated
																											is
																											a
																											substance
																											that
																											evaporates
																											by
																											sublimation
																											in
																											a
																											high
																											vacuum,
																											such
																											as
																											silicon
																											monoxide,
																											magnesium
																											oxide,
																											mixtures
																											of
																											metals
																											and
																											their
																											oxides,
																											chromium
																											metal.
																		
			
				
																						Sehr
																											vorteilhaft
																											ist
																											es,
																											wenn
																											gemäß
																											der
																											Erfindung
																											das
																											zu
																											verdampfende
																											Material
																											eine
																											im
																											Hochvakuum
																											durch
																											Sublimation
																											verdampfende
																											Substanz,
																											wie
																											z.B.
																											Siliziummonoxid,
																											Magnesiumoxid,
																											Gemische
																											von
																											Metallen
																											und
																											deren
																											Oxiden,
																											Chrom-Metall
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											result
																											of
																											these
																											measures
																											is
																											an
																											evaporator
																											which
																											reduces
																											the
																											thermal
																											strain
																											on
																											the
																											films
																											being
																											coated
																											to
																											a
																											large
																											extent
																											while
																											producing
																											the
																											required
																											coating
																											thicknesses
																											of
																											70
																											to
																											120
																											nanometers,
																											which
																											is
																											able
																											to
																											evaporate
																											silicon
																											monoxide
																											even
																											in
																											loose,
																											free-flowing
																											form
																											and
																											which
																											avoides
																											the
																											harmful
																											ejection
																											of
																											hot
																											particles.
																		
			
				
																						Durch
																											diese
																											Maßnahmen
																											wird
																											ein
																											Verdampfer
																											geschaffen,
																											welcher
																											bei
																											den
																											gewünschten
																											Schichtdicken
																											von
																											70
																											bis
																											120
																											Nanometer
																											die
																											thermische
																											Belastung
																											der
																											zu
																											bedampfenden
																											Folien
																											wesentlich
																											reduziert,
																											welcher
																											Siliziummonoxid
																											auch
																											als
																											loses
																											Schüttgut
																											verdampfen
																											kann
																											und
																											welcher
																											die
																											schädliche
																											Spritzerbildung
																											durch
																											heiße
																											Partikel
																											verhindert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						On
																											the
																											basis
																											of
																											the
																											series
																											evaporators
																											outlined
																											below,
																											an
																											explanation
																											is
																											given
																											of
																											the
																											evaporation
																											and
																											application
																											to
																											plastic
																											films,
																											paper
																											or
																											metal
																											strip
																											of
																											silicon
																											monoxide
																											and
																											other
																											materials
																											and
																											mixtures
																											of
																											such
																											materials
																											with
																											a
																											similar
																											evaporation
																											pressure
																											level.
																		
			
				
																						Anhand
																											der
																											im
																											Folgenden
																											beschriebene
																											Reihenverdampfer
																											wird
																											die
																											Durchführung
																											von
																											Bedampfungen
																											mit
																											Siliziummonoxid,
																											aber
																											auch
																											von
																											anderen
																											Materialien
																											und
																											Gemischen
																											davon
																											mit
																											ähnlichem
																											Dampfdruck
																											auf
																											Kunststoff-Folien,
																											Papier
																											oder
																											Metallbändern
																											erläutert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											heaters
																											6
																											are
																											not
																											in
																											contact
																											with
																											the
																											material
																											5
																											being
																											evaporated--
																											preferably
																											silicon
																											monoxide--in
																											order
																											to
																											avoid
																											chemical
																											reactions
																											between
																											the
																											heater
																											material
																											and
																											the
																											material
																											5
																											being
																											evaporated.
																		
			
				
																						Die
																											Heizer
																											6
																											befinden
																											sich
																											nicht
																											im
																											Kontakt
																											mit
																											dem
																											zu
																											verdampfenden
																											Material
																											5,
																											vorzugsweise
																											Siliziummonoxid,
																											um
																											chemische
																											Reaktionen
																											zwischen
																											dem
																											Heizermaterial
																											und
																											dem
																											zu
																											verdampfenden
																											Material
																											5
																											zu
																											vermeiden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Typical
																											heater
																											temperatures
																											for
																											a
																											sufficiently
																											high
																											evaporation
																											speed
																											are
																											about
																											1750°
																											C.
																											in
																											the
																											case
																											of
																											silicon
																											monoxide,
																											while
																											the
																											surface
																											temperature
																											of
																											the
																											material
																											5
																											being
																											evaporated
																											reaches
																											about
																											1250°
																											C.
																		
			
				
																						Typische
																											Heizertemperaturen
																											für
																											eine
																											ausreichend
																											hohe
																											Verdampfungsgeschwindigkeit
																											liegen
																											im
																											Falle
																											von
																											Siliziummonoxid
																											bei
																											ca.
																											1750°C,
																											wobei
																											das
																											zu
																											verdampfende
																											Material
																											5
																											eine
																											Oberflächentemperatur
																											von
																											ewtwa
																											1250°C
																											annimmt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											further
																											advantage
																											is
																											that
																											the
																											flaking
																											problem
																											that
																											can
																											arise
																											when
																											silicon
																											monoxide
																											is
																											evaporated
																											does
																											not
																											occur
																											with
																											this
																											configuration.
																		
			
				
																						Als
																											weiterer
																											Vorteil
																											erweist
																											sich,
																											daß
																											die
																											beim
																											Verdampfen
																											von
																											Siliziummonoxid
																											gefürchtete
																											Spritzerbildung
																											bei
																											dieser
																											Anordnung
																											nicht
																											auftritt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											does
																											not
																											relate
																											solely
																											to
																											the
																											evaporation
																											of
																											silicon
																											monoxide
																											or
																											mixtures
																											of
																											silicon
																											and
																											silicon
																											dioxide.
																		
			
				
																						Die
																											Erfindung
																											bezieht
																											sich
																											nicht
																											nur
																											auf
																											die
																											Verdampfung
																											von
																											Siliziummonoxid,
																											bzw.
																											auf
																											Gemische
																											von
																											Silizium
																											und
																											Siliziumdioxid.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Since
																											the
																											emission
																											figure
																											of
																											metals
																											at
																											their
																											evaporation
																											temperature
																											is
																											a
																											factor
																											of
																											2
																											to
																											4
																											lower
																											than
																											the
																											figure
																											for
																											silicon
																											monoxide
																											or
																											other
																											materials
																											that
																											do
																											not
																											conduct
																											electricity,
																											considerably
																											higher
																											heater
																											temperatures
																											are
																											necessary
																											because
																											of
																											the
																											lower
																											heat
																											transfer
																											as
																											a
																											result.
																		
			
				
																						Da
																											die
																											Emissionszahl
																											von
																											Metallen
																											bei
																											Verdampfungstemperatur
																											um
																											einen
																											Faktor
																											2
																											bis
																											4
																											geringer
																											ist
																											als
																											die
																											von
																											Siliziummonoxid
																											oder
																											anderer
																											elektrisch
																											nichtleitenden
																											Materialien,
																											sind
																											wegen
																											der
																											daraus
																											folgenden
																											geringeren
																											Wärmeübertragung
																											durch
																											die
																											Strahlungsheizung
																											wesentlich
																											höhere
																											Heizertemperaturen
																											notwendig.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											magnetic
																											recording
																											medium
																											which
																											possesses,
																											on
																											a
																											dimensionally
																											stable
																											base
																											which
																											may
																											or
																											may
																											not
																											be
																											provided
																											with
																											a
																											non-magnetic
																											lower
																											layer,
																											a
																											thin
																											ferromagnetic
																											metal
																											layer
																											on
																											which
																											a
																											protective
																											layer
																											is
																											applied,
																											wherein
																											the
																											protective
																											layer
																											is
																											in
																											the
																											form
																											of
																											a
																											dual
																											coating
																											of
																											chromium
																											and
																											silicon
																											monoxide.
																		
			
				
																						Magnetische
																											Aufzeichnungsträger,
																											welche
																											auf
																											einem
																											gegebenenfalls
																											mit
																											einer
																											unmagnetischen
																											Unterschicht
																											versehenen
																											dimensionsstabilen
																											Trägermaterial
																											eine
																											dünne
																											ferromagnetische
																											Metallschicht
																											mit
																											einer
																											darauf
																											aufgebrachten
																											Schutzschicht
																											aufweisen,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											die
																											Schutzschicht
																											als
																											eine
																											Doppelschicht,
																											bestehend
																											aus
																											Chrom
																											und
																											Siliciummonoxid,
																											ausgebildet
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											addition
																											of
																											nitrogen
																											or
																											argon
																											proves
																											to
																											be
																											better
																											depending
																											on
																											the
																											vapor
																											deposition
																											of
																											silicon
																											monoxide
																											or
																											silicon
																											dioxide.
																		
			
				
																						Je
																											nach
																											dem
																											Aufdampfen
																											von
																											Siliciummonoxid
																											oder
																											Siliciumdioxid
																											erweist
																											sich
																											die
																											Zugabe
																											von
																											Stickstoff
																											oder
																											Argon
																											als
																											besser.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Silicon
																											monoxide
																											is
																											evaporated
																											on
																											to
																											a
																											dark-coloured
																											glass
																											slide
																											or
																											plate,
																											in
																											a
																											thickness
																											of
																											from
																											60
																											to
																											70
																											nm.
																		
			
				
																						Siliciummonoxid
																											wird
																											auf
																											eine
																											dunkel
																											eingefärbte
																											Glasplatte
																											in
																											einer
																											Dicke
																											von
																											60
																											bis
																											70
																											nm
																											durch
																											Aufdampfen
																											aufgebracht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											application
																											of
																											the
																											intermediate
																											layers
																											101
																											and
																											201
																											may
																											be
																											accomplished,
																											for
																											example,
																											by
																											cahtode
																											sputtering
																											of
																											pure
																											SiO2
																											or
																											by
																											vapor
																											deposition
																											of
																											silicon
																											monoxide
																											in
																											an
																											oxygen-containing
																											residual
																											gas
																											atmosphere.
																		
			
				
																						Das
																											Aufbringen
																											dieser
																											Zwischenschichten
																											101
																											und
																											201
																											erfolgt
																											beispielsweise
																											mittels
																											Kathodenzerstäubung
																											durch
																											Aufstäuben
																											von
																											reinem
																											Si0
																											2,
																											oder
																											durch
																											Verdampfen
																											von
																											Siliziummonoxid
																											in
																											sauerstoffhaltiger
																											Restgasatmosphäre.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Arranged
																											above
																											the
																											amorphous
																											or
																											microcrystalline
																											silicon
																											layer
																											(4)
																											is
																											a
																											layer
																											(5)
																											for
																											reducing
																											the
																											reflection
																											and
																											consisting,
																											for
																											example,
																											of
																											titanium
																											oxide,
																											silicon
																											monoxide,
																											silicon
																											dioxide,
																											tantalum
																											oxide,
																											niobium
																											oxide,
																											aluminum
																											oxide,
																											or
																											a
																											single
																											or
																											multiple
																											layer
																											combination
																											of
																											these
																											materials.
																		
			
				
																						Über
																											der
																											amorphen
																											bzw.
																											mikrokristallinen
																											Siliziumschicht
																											(4)
																											ist
																											eine
																											reflexionsmindernde
																											Schicht
																											(5),
																											die
																											beispielsweise
																											aus
																											Titanoxid,
																											Siliziummonoxid,
																											Siliziumdioxid,
																											Tantaloxid,
																											Nioboxid,
																											Aluminiumoxid
																											bzw.
																											aus
																											der
																											Ein-
																											oder
																											Mehrschichtenkombination
																											dieser
																											Materialien
																											bestehen
																											kann,
																											angeordnet.
															 
				
		 EuroPat v2