Translation of "Trench depth" in German
																						The
																											trench
																											depth
																											of
																											about
																											40
																											?m
																											correspondends
																											to
																											the
																											future
																											conductor
																											thickness.
																		
			
				
																						Die
																											Grabentiefe
																											von
																											etwa
																											40
																											um
																											entspricht
																											der
																											späteren
																											Leiterzugdicke.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											way,
																											the
																											replicability
																											of
																											the
																											trench
																											depth
																											is
																											improved.
																		
			
				
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											wird
																											die
																											Reproduzierbarkeit
																											der
																											Grabentiefe
																											verbessert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											markup
																											is
																											the
																											benchmark
																											by
																											which
																											digs
																											a
																											trench
																											depth
																											required.
																		
			
				
																						Dieses
																											Markup
																											ist
																											der
																											Maßstab,
																											an
																											dem
																											gräbt
																											eine
																											Grabentiefe
																											erforderlich.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						In
																											this
																											case,
																											wide
																											means
																											that
																											the
																											trench
																											width
																											becomes
																											several
																											times
																											the
																											trench
																											depth.
																		
			
				
																						Breit
																											ausgeführt
																											bedeutet
																											dabei,
																											daß
																											die
																											Trenchbreite
																											ein
																											Mehrfaches
																											der
																											Trenchtiefe
																											annimmt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											is
																											in
																											the
																											Mariana
																											Trench
																											at
																											a
																											depth
																											of
																											over
																											10,000
																											metres.
																		
			
				
																						Diese
																											befindet
																											sich
																											im
																											Marianengraben
																											in
																											Ã1?4ber
																											10.000
																											m
																											Tiefe.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Layer
																											2
																											should
																											preferably
																											be
																											about
																											twice
																											as
																											thick
																											as
																											the
																											desired
																											trench
																											depth
																											in
																											the
																											silicon.
																		
			
				
																						Sie
																											sollte
																											vorzugsweise
																											etwa
																											doppelt
																											so
																											dick
																											sein
																											wie
																											die
																											gewünschte
																											Grabentiefe
																											im
																											Silicium.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Two
																											opposite
																											parts
																											(sides)
																											of
																											the
																											trench
																											wall
																											are
																											implanted
																											down
																											to
																											the
																											same
																											trench
																											depth.
																		
			
				
																						Es
																											werden
																											zwei
																											gegenüberliegende
																											Teile
																											(Seiten)
																											der
																											Grabenwand
																											bis
																											zur
																											selben
																											Grabentiefe
																											implantiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						When
																											marking
																											tight,
																											dripped
																											a
																											trench
																											to
																											a
																											depth
																											of
																											30
																											cm.
																		
			
				
																						Wenn
																											enge
																											Markierung,
																											tropfte
																											ein
																											Graben
																											bis
																											zu
																											einer
																											Tiefe
																											von
																											30
																											cm.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						In
																											addition,
																											other
																											structural
																											parameters
																											such
																											as
																											trench
																											depth
																											or
																											sidewall
																											inclination
																											are
																											also
																											of
																											major
																											importance.
																		
			
				
																						Daneben
																											sind
																											noch
																											weitere
																											Strukturparameter
																											wie
																											z.
																											B.
																											Grabentiefe
																											oder
																											Seitenwandschräge
																											von
																											großer
																											Wichtigkeit.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Around
																											the
																											perimeter
																											of
																											the
																											basement
																											digging
																											a
																											trench
																											to
																											a
																											depth
																											of
																											0.4
																											m.
																		
			
				
																						Um
																											den
																											Umfang
																											des
																											Untergeschosses
																											eines
																											Grabens
																											bis
																											zu
																											einer
																											Tiefe
																											von
																											0,4
																											m
																											zu
																											graben.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						You
																											should
																											prepare
																											a
																											trench
																											the
																											depth
																											of
																											which
																											varies
																											from
																											40
																											to
																											50
																											centimeters.
																		
			
				
																						Sie
																											sollten
																											einen
																											Graben
																											vorbereiten,
																											dessen
																											Tiefe
																											zwischen
																											40
																											und
																											50
																											cm
																											variiert.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						As
																											the
																											photoresist
																											is
																											etched
																											with
																											the
																											same,
																											or
																											even
																											higher
																											speed
																											than
																											the
																											silicon,
																											the
																											thick
																											photoresist
																											mask
																											5
																											is
																											to
																											be
																											made
																											with
																											a
																											layer
																											thickness
																											of
																											at
																											least
																											7
																											to
																											9
																											?m
																											for
																											the
																											etching
																											of
																											a
																											silicon
																											trench
																											having
																											a
																											depth
																											of
																											4
																											?m.
																		
			
				
																						Weil
																											der
																											Photoresist
																											gleich
																											schnell
																											oder
																											sogar
																											noch
																											schneller
																											als
																											Silicium
																											geätzt
																											wird,
																											muß
																											die
																											Resistmaske
																											5
																											in
																											einer
																											Schichtdicke
																											von
																											mindestens
																											7
																											bis
																											9
																											µm
																											für
																											das
																											Ätzen
																											eines
																											Siliciumgrabens
																											mit
																											einer
																											Tiefe
																											von
																											4
																											µm
																											hergestellt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Because
																											the
																											walls
																											of
																											the
																											V-trenches
																											have
																											a
																											54.7-degree
																											inclination
																											along
																											the
																											entire
																											(111-)
																											crystal
																											surfaces,
																											the
																											trench
																											depth
																											can
																											be
																											determined
																											simply
																											by
																											the
																											width
																											of
																											the
																											openings
																											of
																											the
																											lithography
																											mask.
																		
			
				
																						Ihre
																											Tiefe
																											kann,
																											da
																											sich
																											die
																											Wände
																											der
																											V-Nuten
																											entlang
																											der
																											(111-)Kristallflächen
																											im
																											Silizium
																											stets
																											unter
																											54,7
																											Grad
																											Neigung
																											ausbilden,
																											in
																											einfacher
																											Weise
																											durch
																											die
																											Öffnungsbreite
																											der
																											Lithografiemaske
																											bestimmt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Although
																											this
																											increases
																											the
																											channel
																											resistance
																											of
																											the
																											internal
																											MOSFET,
																											a
																											smaller
																											forward
																											voltage
																											is
																											achieved
																											for
																											the
																											overall
																											component
																											with
																											a
																											trench
																											depth
																											that
																											is
																											only
																											slightly
																											larger
																											than
																											the
																											penetration
																											depth
																											of
																											the
																											P
																											bulk
																											region
																											than
																											with
																											narrow
																											and
																											very
																											deep
																											structures.
																		
			
				
																						Obwohl
																											sich
																											damit
																											der
																											Kanalwiderstand
																											des
																											internen
																											MOSFET
																											erhöht,
																											wird
																											bereits
																											mit
																											einer
																											Trenchtiefe,
																											die
																											nur
																											wenig
																											größer
																											als
																											die
																											Eindringtiefe
																											des
																											p-
																											Bulkgebietes
																											ist,
																											eine
																											geringere
																											Flußspannung
																											für
																											das
																											Gesamtbauelement,
																											als
																											mit
																											schmalen
																											und
																											sehr
																											tiefen
																											Strukturen
																											erreicht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											implantation
																											angle
																											in
																											combination
																											with
																											the
																											width
																											of
																											the
																											trench
																											determines
																											to
																											what
																											trench
																											depth
																											the
																											trench
																											wall
																											is
																											doped,
																											and
																											thus
																											what
																											channel
																											length
																											(non-implanted
																											middle
																											region
																											of
																											the
																											trench
																											wall)
																											remains.
																		
			
				
																						Durch
																											den
																											Implantationswinkel
																											in
																											Kombination
																											mit
																											der
																											Breite
																											des
																											Grabens
																											ergibt
																											sich,
																											bis
																											zu
																											welcher
																											Grabentiefe
																											die
																											Grabenwand
																											dotiert
																											wird,
																											und
																											damit,
																											welche
																											Kanallänge
																											(nicht-implantierter
																											mittlerer
																											Bereich
																											der
																											Grabenwand)
																											verbleibt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Although
																											the
																											etching
																											method
																											is
																											more
																											involved
																											and
																											requires
																											an
																											etching
																											template
																											and
																											lithographic
																											steps,
																											it
																											has
																											the
																											advantage
																											of
																											a
																											more
																											accurate
																											and
																											more
																											uniform
																											definition
																											of
																											the
																											trench
																											depth.
																		
			
				
																						Obwohl
																											das
																											Ätzverfahren
																											aufwendiger
																											ist
																											und
																											zudem
																											eine
																											Ätzmaske
																											und
																											Lithografieschritte
																											benötigt
																											werden,
																											hat
																											es
																											den
																											Vorteil
																											einer
																											genaueren
																											und
																											gleichmäßigeren
																											Definition
																											der
																											Grabentiefe.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											dry
																											etching,
																											the
																											layer
																											sequence
																											is
																											provided
																											with
																											at
																											least
																											one
																											mesa
																											trench
																											whose
																											depth
																											is
																											at
																											least
																											great
																											enough
																											that
																											the
																											active
																											zone
																											of
																											the
																											layer
																											sequence
																											is
																											severed.
																		
			
				
																						Die
																											Schichtenfolge
																											wird
																											mittels
																											Trockenätzen
																											mit
																											wenigstens
																											einem
																											Mesagraben
																											versehen,
																											dessen
																											Tiefe
																											mindestens
																											so
																											groß
																											ist,
																											daß
																											die
																											aktive
																											Zone
																											der
																											Schichtenfolge
																											durchtrennt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											use
																											of
																											a
																											hard
																											mask
																											has
																											the
																											advantage
																											that
																											the
																											first
																											trench
																											and/or
																											the
																											second
																											trench
																											can
																											be
																											formed
																											with
																											a
																											large
																											trench
																											depth.
																		
			
				
																						Die
																											Verwendung
																											einer
																											Hartmaske
																											hat
																											den
																											Vorteil,
																											daß
																											der
																											erste
																											Graben
																											beziehungsweise
																											der
																											zweite
																											Graben
																											mit
																											einer
																											großen
																											Grabentiefe
																											gebildet
																											werden
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											etching
																											for
																											forming
																											the
																											first
																											trench
																											5
																											and
																											the
																											second
																											trench
																											7
																											is
																											carried
																											out
																											anisotropically,
																											for
																											example,
																											in
																											order
																											to
																											form
																											a
																											trench
																											having
																											a
																											high
																											aspect
																											ratio
																											(trench
																											depth
																											to
																											trench
																											diameter).
																		
			
				
																						Die
																											Ätzung
																											zur
																											Bildung
																											des
																											ersten
																											Grabens
																											5
																											und
																											des
																											zweiten
																											Grabens
																											7
																											wird
																											beispielsweise
																											anisotrop
																											durchgeführt,
																											um
																											einen
																											Graben
																											mit
																											hohem
																											Aspektverhältnis
																											(Grabentiefe
																											zu
																											Grabendurchmesser)
																											zu
																											bilden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Process
																											as
																											defined
																											in
																											claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											spin-on
																											deposition
																											of
																											the
																											photoresist
																											is
																											performed
																											so
																											that
																											said
																											photoresist
																											is
																											directly
																											spun
																											on
																											the
																											grating
																											structure
																											and
																											wherein
																											said
																											minimum
																											depth
																											of
																											material
																											removal
																											corresponds
																											to
																											the
																											grating
																											trench
																											depth
																											(a).
																		
			
				
																						Verfahren
																											nach
																											Anspruch
																											1,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											der
																											Photolack
																											direkt
																											auf
																											die
																											Gitterstruktur
																											des
																											Halbleiterwafers
																											aufgeschleudert
																											wird,
																											und
																											daß
																											der
																											mittels
																											Ätzverfahren
																											auf
																											der
																											xz-Ebene
																											vorzunehmende
																											Materialabtrag
																											gleicher
																											Tiefe
																											eine
																											Mindesttiefe
																											aufweist,
																											die
																											der
																											Gittergrabentiefe
																											(a)
																											entspricht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Process
																											as
																											defined
																											in
																											claim
																											1,
																											further
																											comprising
																											providing
																											additional
																											semiconductor
																											layers
																											on
																											the
																											grating
																											structure,
																											said
																											additional
																											semiconductor
																											layers
																											having
																											a
																											total
																											thickness
																											(b)
																											above
																											the
																											grating
																											structure,
																											and
																											wherein
																											the
																											photoresist
																											is
																											spun-on
																											the
																											additional
																											semiconductor
																											layers
																											and
																											the
																											minimum
																											depth
																											of
																											the
																											material
																											removal
																											corresponds
																											to
																											a
																											sum
																											of
																											the
																											total
																											thickness
																											(b)
																											of
																											the
																											semiconductor
																											layers
																											and
																											the
																											grating
																											trench
																											depth
																											(a).
																		
			
				
																						Verfahren
																											nach
																											Anspruch
																											1,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											der
																											Photolack
																											auf
																											eine
																											oberhalb
																											der
																											Gitterstruktur
																											des
																											Halbleiterwafers
																											aufgebrachte
																											Halbleiterschichtenfolge
																											der
																											Gesamtdicke
																											(b)
																											aufgeschleudert
																											wird,
																											und
																											daß
																											der
																											mittels
																											Ätzverfahren
																											auf
																											der
																											xz-Ebene
																											vorzunehmende
																											Materialabtrag
																											gleicher
																											Tiefe
																											eine
																											Mindesttiefe
																											aufweist,
																											die
																											aus
																											der
																											Summe
																											der
																											Dicken
																											der
																											Halbleiterschichtenfolge
																											(b)
																											und
																											der
																											Gittergrabentiefe
																											(a)
																											resultiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											pyramidal
																											etched
																											trench
																											whose
																											depth
																											is
																											determined
																											by
																											the
																											dimensioning
																											of
																											the
																											membrane
																											and
																											amounts
																											to
																											a
																											few
																											hundred
																											micrometers
																											arises
																											under
																											the
																											membrane
																											as
																											a
																											result
																											of
																											the
																											etching
																											process.
																		
			
				
																						Durch
																											den
																											Ätzprozeß
																											entsteht
																											eine
																											pyramidenförmige
																											Ätzgrube
																											unter
																											der
																											Membran,
																											deren
																											Tiefe
																											durch
																											die
																											Dimensionierung
																											der
																											Membran
																											determiniert
																											ist
																											und
																											einige
																											hundert
																											Mikometer
																											beträgt.
															 
				
		 EuroPat v2