Übersetzung für "Deposition rate" in Deutsch
																						The
																											deposition
																											rate
																											for
																											this
																											process
																											step
																											is
																											approximately
																											2.5
																											?m
																											per
																											hour.
																		
			
				
																						Die
																											Abscheidungsrate
																											für
																											diesen
																											Verfahrensschritt
																											liegt
																											bei
																											etwa
																											2,5
																											µm
																											pro
																											Stunde.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						At
																											the
																											same
																											time,
																											however,
																											the
																											deposition
																											rate
																											of
																											tungsten
																											onto
																											the
																											silicon
																											surface
																											is
																											also
																											reduced.
																		
			
				
																						Gleichzeitig
																											wird
																											jedoch
																											auch
																											die
																											Abscheiderate
																											von
																											Wolfram
																											auf
																											der
																											Siliziumoberfläche
																											reduziert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Thus,
																											a
																											correspondingly
																											high
																											deposition
																											rate
																											is
																											obtained.
																		
			
				
																						Damit
																											erhält
																											man
																											eine
																											entsprechend
																											hohe
																											Abscheidungsrate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											case
																											too,
																											SBT
																											and
																											BST
																											coatings
																											having
																											excellent
																											edge
																											covering
																											are
																											obtained
																											at
																											a
																											good
																											deposition
																											rate.
																		
			
				
																						Auch
																											hier
																											ergeben
																											sich
																											SBT-
																											und
																											BST-Schichten
																											mit
																											ausgezeichneter
																											Kantenabdeckung
																											und
																											guter
																											Abscheiderate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											additionally
																											permits
																											a
																											higher
																											deposition
																											rate
																											than
																											in
																											the
																											PECVD
																											method.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											Erfindung
																											kann
																											zusätzlich
																											eine
																											höhere
																											Abscheiderate
																											als
																											beim
																											PECVD-Verfahren
																											erreicht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											the
																											surfaces
																											of
																											the
																											substrate
																											are
																											small,
																											a
																											homogeneous
																											deposition
																											rate
																											can
																											be
																											achieved.
																		
			
				
																						Bei
																											kleinen
																											Substratflächen
																											kann
																											dabei
																											eine
																											homogene
																											Abscheiderate
																											erzielt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											deposition
																											rate
																											arising
																											on
																											the
																											substrate
																											wafer
																											is
																											thereby
																											homogenized.
																		
			
				
																						Dadurch
																											wird
																											die
																											auf
																											der
																											Substratscheibe
																											aufkommende
																											Abscheiderate
																											homogenisiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											deposition
																											rate
																											is
																											respectively
																											calculated
																											for
																											a
																											prescribed
																											distribution
																											of
																											hole
																											radii.
																		
			
				
																						Die
																											Abscheiderate
																											D
																											ist
																											jeweils
																											für
																											eine
																											vorgegebene
																											Verteilung
																											von
																											Lochradien
																											berechnet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											deposition
																											rate
																											is
																											thus
																											lower
																											on
																											a
																											thermal
																											oxide
																											than
																											on
																											silicon.
																		
			
				
																						So
																											ist
																											die
																											Abscheiderate
																											auf
																											einem
																											thermischen
																											Oxid
																											niedriger
																											als
																											auf
																											Silizium.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											makes
																											it
																											easier
																											to
																											maintain
																											a
																											constant
																											deposition
																											rate
																											and
																											a
																											constant
																											density.
																		
			
				
																						Dies
																											erleichtert
																											das
																											Einhalten
																											einer
																											konstanten
																											Abscheiderate
																											und
																											eines
																											homogenen
																											Dichteverlaufes.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Thanks
																											to
																											the
																											homogeneity
																											of
																											the
																											field
																											in
																											the
																											substrate
																											plane,
																											the
																											deposition
																											rate
																											is
																											extremely
																											even.
																		
			
				
																						Aufgrund
																											der
																											Homogenität
																											des
																											Feldes
																											in
																											der
																											Substratebene
																											ist
																											die
																											Abscheiderate
																											überaus
																											gleichmäßig.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											even
																											gas
																											flow
																											ensures
																											that
																											the
																											deposition
																											rate
																											is
																											accordingly
																											extremely
																											homogeneous.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											gleichmäßige
																											Anströmung
																											wird
																											demzufolge
																											die
																											Abscheiderate
																											überaus
																											homogen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						With
																											Cold
																											Weld
																											you
																											reduce
																											your
																											welding
																											times
																											due
																											to
																											the
																											high
																											deposition
																											rate.
																		
			
				
																						Mit
																											Cold
																											Weld
																											verkürzen
																											Sie
																											Ihre
																											Schweißzeiten
																											durch
																											die
																											hohe
																											Abschmelzleistung.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						With
																											Tandem
																											Weld
																											you
																											reduce
																											your
																											welding
																											times
																											due
																											to
																											the
																											high
																											deposition
																											rate.
																		
			
				
																						Mit
																											Tandem
																											Weld
																											verkürzen
																											Sie
																											Ihre
																											Schweißzeiten
																											durch
																											die
																											hohe
																											Abschmelzleistung.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						This
																											demand
																											leads
																											to
																											the
																											development
																											of
																											high-performance
																											welding
																											processes
																											with
																											increased
																											deposition
																											rate.
																		
			
				
																						Dies
																											führt
																											zur
																											Entwicklung
																											von
																											Hochleistungsschweißprozessen
																											mit
																											gesteigerter
																											Abschmelzleistung.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Too
																											high
																											a
																											rate
																											of
																											product
																											mass
																											flow
																											likewise
																											lowers
																											the
																											deposition
																											rate
																											of
																											the
																											magnetic
																											separator.
																		
			
				
																						Eine
																											zu
																											hohe
																											Geschwindigkeit
																											des
																											Produktmassenstroms
																											senkt
																											ebenfalls
																											die
																											Abscheiderate
																											des
																											Magnetabscheiders.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											the
																											deposition
																											rate
																											is
																											low
																											since
																											the
																											deposition
																											results
																											from
																											atomic
																											growth.
																		
			
				
																						Die
																											Abscheiderate
																											ist
																											jedoch
																											gering,
																											da
																											die
																											Abscheidung
																											durch
																											atomares
																											Wachstum
																											erfolgt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						There
																											is
																											therefore
																											an
																											effort
																											to
																											maximize
																											the
																											deposition
																											rate
																											if
																											possible.
																		
			
				
																						Daher
																											ist
																											man
																											bestrebt,
																											die
																											Abscheiderate
																											nach
																											Möglichkeit
																											zu
																											maximieren.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Moderate
																											heating
																											increases
																											the
																											deposition
																											rate.
																		
			
				
																						Eine
																											moderate
																											Erwärmung
																											erhöht
																											die
																											Depositionsrate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											deposition
																											rate
																											was
																											0.1
																											nm/second
																											for
																											both
																											layers.
																		
			
				
																						Die
																											Abscheidungsrate
																											betrug
																											für
																											beide
																											Schichten
																											0,1
																											nm/Sekunde.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											the
																											heating,
																											the
																											deposition
																											rate
																											of
																											the
																											silica
																											nanoparticles
																											on
																											the
																											feature
																											particles
																											is
																											favored.
																		
			
				
																						Durch
																											das
																											Erwärmen
																											wird
																											die
																											Abscheidungsrate
																											der
																											Silica-Nanopartikel
																											an
																											den
																											Merkmalspartikeln
																											begünstigt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Among
																											others,
																											limitations
																											result
																											from
																											the
																											residual
																											stresses
																											and
																											the
																											low
																											deposition
																											rate.
																		
			
				
																						Limitierungen
																											ergeben
																											sich
																											u.a.
																											aus
																											den
																											Eigenspannungen
																											und
																											der
																											geringen
																											Abscheiderate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											a
																											development
																											of
																											the
																											invention,
																											the
																											deposition
																											rate
																											is
																											monitored
																											by
																											means
																											of
																											a
																											quartz
																											crystal
																											microbalance.
																		
			
				
																						In
																											einer
																											Weiterbildung
																											der
																											Erfindung
																											wird
																											die
																											Depositionsrate
																											mittels
																											einer
																											Quarzwaage
																											überwacht.
															 
				
		 EuroPat v2