Übersetzung für "Directional beam" in Deutsch
A
directional
scanning
beam
27
is
retroreflected
from
the
areas
25
and
26.
In
den
Bereichen
25
und
26
wird
ein
gerichteter
Abtaststrahl
27
retroreflektiert.
EuroPat v2
That
decision
is,
though,
reached
without
emitting
a
directional
beam
on
both
sides.
Diese
Entscheidung
wird
jedoch
getroffen,
ohne
dass
ein
direktionaler
Strahl
auf
beide
Seiten
gerichtet
wird.
EuroPat v2
A
directional
ion
beam
may
be
aimed
at
the
substrate
at
varying
angles
to
produce
either
vertical
etch
walls
or
other
wall
profiles.
Der
gerichtete
lonenstrahl
kann
aus
verschiedenen
Winkeln
auf
ein
Substrat
gerichtet
werden,
wodurch
entweder
vertikale
Wände
oder
andere
Wandprofile
erzeugt
werden
können.
EuroPat v2
Narrow
limits
are
placed
on
the
bundling
of
low-energy
electron
beams
in
conventional
scanning
electron
microscopes,
particularly
for
electron
sources
having
a
high
directional
beam
value.
Der
Bündelung
eines
niederenergetischen
Elektronenstrahles
in
konventionellen
Raster-Elektronenmikroskopen
sind
insbesondere
bei
Verwendung
von
Elektronenquellen
mit
hohem
Richtstrahlwert
enge
Grenzen
gesetzt.
EuroPat v2
With
a
2
kV
difference,
the
cathode
supplies
the
maximum
directional
beam
value
and,
simultaneously,
the
electron
energy
in
the
first
beam
crossover
point
CR1
is
low
enough
to
noticeably
reduce
the
expansion
in
the
beam
PE
as
a
consequence
of
the
energetic
Boersch
effect.
Unter
diesen
Bedingungen
liefert
die
Kathode
K
den
maximalen
Richtstrahlwert
und
die
Elektronenenergie
im
ersten
Strahlüberkreuzungspunkt
CR1
ist
gleichzeitig
niedrig
genug,
um
die
Aufweitung
des
Strahles
infolge
des
energetischen
Boersch-Effekts
erheblich
reduzieren
zu
können.
EuroPat v2
The
electron
source
can
in
its
turn
ideally
be
changed
over
between
a
first
mode
of
operation
with
relatively
large-surface
emission
at
high
current
(for
the
projection
mode)
and
a
second
mode
with
a
high
directional
beam
value
(for
the
writing
mode).
Die
Elektronenquelle
ist
idealer
Weise
ihrerseits
umschaltbar
zwischen
einem
ersten
Betriebsmodus
mit
relativ
großflächiger
Emission
mit
hohem
Strom
(für
den
Projektionsmode)
und
einem
zweiten
Modus
mit
einem
hohen
Richtstrahlwert
(für
den
Schreibmodus).
EuroPat v2
The
shadowing
radiation
can
easily
be
injected
into
the
beam
path
if
the
illumination
is
provided
by
a
directional
beam
which
is
reflected
on
an
element
of
the
optical
system
before
it
strikes
the
panel.
Eine
einfache
Einkopplung
der
Abschattungsstrahlung
in
den
Strahlengang
wird
gemäß
der
Erfindung
erreicht,
indem
die
Bestrahlung
durch
einen
gerichteten
Strahl
erfolgt,
der
an
einem
Element
des
optischen
Systems
reflektiert
wird
bevor
er
die
Blende
trifft.
EuroPat v2
The
strong
spreading
effect
of
the
surface
is
represented
by
a
directional
beam
142,
whose
reflection
131
is
being
reflected
off
the
detector
16,
while
another
beam
142
strikes
a
part
of
the
surface.
The
reflection
13
a
of
the
beam
passes
through
the
semipermeable
mirror
17
and
directly
enters
the
detector
through
the
lens
system
18
in
a
slightly
attenuated
manner
as
radiation
13
b
.
Die
starke
Streuwirkung
der
Oberfläche
wird
durch
einen
gerichteten
Strahl
142
repräsentiert,
dessen
Reflexion
131
vom
Detektor
16
weggespiegelt
wird,
während
ein
anderer
Strahl
142
einen
Teil
der
Oberfläche
trifft,
dessen
Reflexion
13a
durch
den
semipermeablen
Spiegel
17
und
das
Linsensystem
18
leicht
abgeschwächt
als
Strahlung
13b
direkt
in
den
Detektor
gelangt.
EuroPat v2
In
one
advantageous
embodiment
of
the
invention,
the
illumination
is
provided
by
a
directional
beam,
and
the
shape
of
the
illuminated
area
is
governed
by
a
change
in
the
alignment
of
the
beam
on
the
panel.
In
einer
vorteilhaften
Ausführungsform
der
Erfindung
erfolgt
die
Bestrahlung
durch
einen
gerichteten
Strahl,
und
die
Form
des
bestrahlten
Bereichs
wird
durch
eine
Veränderung
der
Ausrichtung
des
Strahls
auf
die
Blende
bewirkt.
EuroPat v2