Translation of "Wafer handling" in German
What
accessories
are
there
for
Wafer
Handling
robots?
Welches
Zubehör
gibt
es
für
Wafer
Handling
Roboter?
ParaCrawl v7.1
How
precise
are
wafer
handling
robots?
Wie
präzise
arbeiten
Wafer
Handling
Roboter?
ParaCrawl v7.1
One
example
are
the
thin,
fragile
sapphire
wafers
used,
which
require
special
thin
wafer
handling.
Beispielsweise
erfordern
die
extrem
dünnen
und
fragilen
Wafer
aus
Sapphir
ein
spezielles
Thin-Wafer-Handling.
ParaCrawl v7.1
Thin
wafer
handling,
on
the
other
hand
represents
a
great
challenge
in
manufacturing.
Eine
große
Herausforderung
bei
der
Herstellung
stellt
das
Thin-Wafer-Handling
dar.
ParaCrawl v7.1
Generally
the
installation
of
the
wafer
handling
robot
is
very
easy
to
handle.
Generell
ist
der
Einbau
des
Wafer
Handling
Roboters
sehr
einfach
zu
bewältigen.
ParaCrawl v7.1
The
field
of
use
of
the
invention
is
semiconductor
technology,
especially
wafer
machining
and
wafer
handling.
Das
Anwendungsgebiet
der
Erfindung
ist
die
Halbleitertechnologie,
insbesondere
die
Waferbearbeitung
und
das
Waferhandling.
EuroPat v2
In
addition
to
the
wafer
handlers,
some
additional
components
are
required
for
industrial
wafer
handling.
Für
das
industrielle
Wafer
Handling
sind
neben
den
Wafer
Handlern
noch
einige
weitere
Komponenten
erforderlich.
ParaCrawl v7.1
The
run
programs
determine,
for
example,
the
wafer
handling,
thus
which
wafer
is
taken
from
which
cassette
and
at
which
coordinate
points
the
wafer
is
supposed
to
be
examined.
Die
Ablaufprogramme
bestimmen
zum
Beispiel
das
Waferhandling,
also
welcher
Wafer
aus
welcher
Kassette
entnommen
wird
und
an
welchen
Koordinatenpunkten
der
Wafer
untersucht
werden
soll.
EuroPat v2
Much
of
the
complication
and
expense
of
making
silicon
wafer
manufacturing
and
handling
operations
ultra-clean
can
therefore
be
avoided.
Viele
Komplikationen
und
Kosten
für
die
Arbeitsgänge
zur
Herstellung
und
Handhabung
von
Reinstsilicium-Wafern
können
daher
vermieden
werden.
EuroPat v2
The
energy
consumption
of
a
wafer
handling
robot
is
very
low
compared
to
most
energy-consuming
processes
in
the
semi-conductor
industry.
Der
Energieverbrauch
eines
Wafer
Handling
Roboters
ist
im
Vergleich
zu
den
meisten
energieverbrauchenden
Prozessen
der
Halbleiterindustrie
sehr
gering.
ParaCrawl v7.1
For
example,
it
is
also
conceivable
to
integrate
the
measuring
device
into
a
temporary
bonding
unit
for
thermoplastic
or
UV-curable
adhesives,
these
units
conventionally
containing
one
or
more
coating
modules
for
the
application
of
the
adhesive
and
one
or
more
bond
modules
between
which
the
wafers
to
be
processed
are
moved
by
means
of
an
automatic
wafer
handling
device
which
is
especially
part
of
the
unit.
Beispielsweise
ist
es
erfindungsgemäß
denkbar,
die
Messvorrichtung
in
eine
Temporary
Bonding
Anlage
für
thermoplastische
oder
UV-aushärtbare
Kleber
zu
integrieren,
wobei
derartige
Anlagen
üblicherweise
ein
oder
mehrere
Beschichtungsmodule
für
das
Aufbringen
des
Klebers
sowie
eine
oder
mehrere
Bondmodule
beinhalten,
zwischen
denen
die,
zu
bearbeitenden
Wafer
mittels
einer
automatischen
Wafer
Handhabungsvorrichtung,
die
insbesondere
Teil
der
Anlage
ist,
bewegt
werden.
EuroPat v2
The
present
invention
relates
to
a
method
for
regulating
an
active
vibration
isolation
system
and
to
an
active
vibration
isolation
system,
in
particular
for
a
vibration
isolated
positioning
of
lithography-devices,
wafer-handling-systems
and/or
microscopes,
as
for
instance
scanning
microscopes.
Die
vorliegende
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Regelung
eines
aktiven
Schwingungsisolationssystems
und
ein
aktives
Schwingungsisolationssystem,
insbesondere
zur
schwingungsisolierten
Lagerung
von
Lithographie-Geräten,
Wafer-Handhabungssystemen
und/oder
Mikroskopen,
wie
zum
Beispiel
Rastermikroskopen.
EuroPat v2
The
present
invention
relates
to
an
active
vibration
isolation
system
for
vibration-isolated
support
of
lithographic
devices,
wafer
handling
systems,
and/or
microscopes,
for
example
scanning
microscopes.
Die
vorliegende
Erfindung
betrifft
ein
aktives
Schwingungsisolationssystem
zur
schwingungsisolierten
Lagerung
von
Lithographie-Einrichtungen,
Wafer-Handhabungssystemen
und/oder
Mikroskopen,
wie
zum
Beispiel
Rastermikroskopen.
EuroPat v2
Also
within
the
scope
of
the
invention
is
a
method
for
controlling
an
active
vibration
isolation
system,
in
particular
for
vibration-isolated
support
of
lithographic
devices,
wafer
handling
systems,
and/or
microscopes,
comprising
the
following
steps:
Weiterhin
liegt
im
Rahmen
der
Erfindung
auch
ein
Verfahren
zur
Regelung
eines
aktiven
Schwingungsisolationssystems,
insbesondere
zur
schwingungsisolierten
Lagerung
von
Lithographie-Einrichtungen,
Wafer-Handhabungssystemen
und/oder
Mikroskopen,
das
die
folgenden
Schritte
umfasst:
EuroPat v2
Named
as
examples
of
the
referenced
devices
are
lithographic
devices
and/or
wafer
handling
systems
and/or
microscopes,
in
particular
scanning
microscopes.
Als
Beispiele
für
die
genannten
Geräte
seien
Lithographie-Einrichtungen
und/oder
Wafer-Handhabungssysteme
und/oder
Mikroskope,
insbesondere
Rastermikroskope,
genannt.
EuroPat v2
Wafer
handling
systems
are
or
include,
for
example,
devices
for
transporting,
supporting,
holding,
gripping,
turning,
machining,
and/or
testing
wafers.
Wafer-Handhabungssysteme
sind
oder
unfassen
beispielsweise
Einrichtungen
zum
Transportieren,
Lagern,
Halten,
Greifen,
Drehen,
Bearbeiten
und/oder
Untersuchen
von
Wafern.
EuroPat v2