Translation of "Lens error" in German
																						A
																											lens
																											error
																											at
																											the
																											centre
																											of
																											the
																											lens
																											can
																											be
																											reduced
																											or
																											prevented
																											especially
																											effectively
																											by
																											means
																											of
																											a
																											method
																											version
																											in
																											which
																											the
																											rotational
																											speed
																											of
																											the
																											polishing
																											wheel
																											about
																											the
																											wheel
																											axis
																											and
																											the
																											axis
																											of
																											rotation
																											at
																											the
																											spiral
																											centre
																											of
																											the
																											movement
																											path
																											is
																											reduced
																											at
																											least
																											approximately
																											to
																											zero.
																		
			
				
																						Besonders
																											effektiv
																											verringert
																											bzw.
																											verhindert
																											werden
																											kann
																											ein
																											Linsenfehler
																											im
																											Zentrum
																											der
																											Linse
																											durch
																											eine
																											Verfahrensversion,
																											bei
																											der
																											die
																											Drehzahl
																											des
																											Polierrades
																											um
																											die
																											Radachse
																											und
																											die
																											Drehachse
																											in
																											der
																											Spiralmitte
																											des
																											Bewegungspfades
																											wenigstens
																											annährend
																											auf
																											null
																											reduziert
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Additional
																											post-processing
																											time
																											for
																											correcting
																											lens
																											errors
																											is
																											therefore
																											not
																											necessary.
																		
			
				
																						Zusätzliche
																											Nachbearbeitungszeit
																											zur
																											Korrektur
																											von
																											Objektivfehlern
																											entfällt
																											somit.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						By
																											implementing
																											this
																											measure,
																											distortions
																											caused
																											by
																											lens
																											errors,
																											for
																											example,
																											are
																											compensated.
																		
			
				
																						Durch
																											diese
																											Maßnahme
																											werden
																											z.B.
																											Verzerrungen
																											durch
																											Linsenfehler
																											kompensiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											means
																											that
																											lens
																											errors,
																											like
																											color
																											fringing,
																											are
																											completely
																											eliminated.
																		
			
				
																						Dies
																											bedeutet,
																											dass
																											Fehler
																											wie
																											Farbdispergierung
																											völlig
																											ausgeschlossen
																											werden.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Additional
																											post-processing
																											time
																											for
																											the
																											correction
																											of
																											lens
																											errors
																											is
																											eliminated.
																		
			
				
																						Zusätzliche
																											Nachbearbeitungszeit
																											zur
																											Korrektur
																											von
																											Objektivfehlern
																											entfällt
																											daher.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						However,
																											it
																											may
																											also
																											have
																											a
																											slight
																											non-linearity
																											to
																											compensate
																											for
																											distortion
																											in
																											the
																											lens
																											or
																											other
																											errors.
																		
			
				
																						Sie
																											kann
																											jedoch
																											auch
																											eine
																											geringe
																											Nichtlinearität
																											aufweisen,
																											um
																											Linsenverzerrungsfehler
																											oder
																											andere
																											Fehler
																											zu
																											kompensieren.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											information
																											conversion,
																											however,
																											introduces
																											an
																											additional
																											error
																											source
																											in
																											the
																											form
																											of
																											lens
																											errors
																											into
																											the
																											measurement.
																		
			
				
																						Diese
																											Informationsumwandlung
																											bringt
																											jedoch
																											eine
																											zusätzliche
																											Fehlerquelle
																											in
																											Form
																											von
																											Linsenfehlern
																											in
																											die
																											Messung
																											ein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											addition,
																											the
																											KRIOS
																											possesses
																											a
																											so-called
																											CS
																											corrector,
																											which
																											reduces
																											the
																											lens
																											errors
																											of
																											the
																											microscope.
																		
			
				
																						Außerdem
																											verfügt
																											das
																											KRIOS
																											über
																											einen
																											sogenannten
																											Cs-Korrektor,
																											der
																											Linsenfehler
																											des
																											Mikroskops
																											reduziert.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Additional
																											post-processing
																											time
																											for
																											the
																											correction
																											of
																											lens
																											errors
																											is
																											therefore
																											not
																											required.
																		
			
				
																						Somit
																											erhält
																											man
																											die
																											maximale
																											Qualität.
																											Zusätzliche
																											Nachbearbeitungszeit
																											zur
																											Korrektur
																											von
																											Objektivfehlern
																											entfällt
																											somit.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Where
																											lens
																											60
																											is
																											a
																											reduction
																											lens,
																											then
																											positional
																											errors
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											mask,
																											which
																											has
																											the
																											larger
																											patterns,
																											are
																											less
																											important
																											and
																											it
																											requires
																											a
																											less
																											accurate
																											measurement
																											system
																											if
																											the
																											mask
																											rather
																											than
																											the
																											wafer
																											is
																											moved
																											to
																											achieve
																											alignment.
																		
			
				
																						Wenn
																											Linse
																											60
																											eine
																											Verkleinerung
																											des
																											Bildes
																											liefert,
																											sind
																											Lagefehler
																											der
																											Maske
																											mit
																											ihrem
																											größeren
																											Muster
																											weniger
																											wichtig,
																											so
																											daß
																											bei
																											der
																											Verschiebung
																											der
																											Maske
																											zur
																											genauen
																											Ausrichtung
																											weniger
																											genaue
																											Messungen
																											erforderlich
																											sind,
																											als
																											bei
																											Verschiebung
																											der
																											Halbleiterscheibe.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											special
																											advantage
																											of
																											the
																											invention,
																											and
																											in
																											contrast
																											to
																											the
																											arrangement
																											of
																											Erlandsson
																											et
																											al,
																											is
																											that
																											very
																											modest
																											requirements
																											are
																											imposed
																											upon
																											the
																											microscope
																											objective
																											since
																											lens
																											errors
																											distort
																											the
																											wave
																											fronts
																											of
																											the
																											measurement
																											and
																											reference
																											beams
																											identically
																											so
																											that
																											interference
																											is
																											not
																											affected.
																		
			
				
																						Ein
																											besonderer
																											Vorteil
																											der
																											Erfindung
																											ist,
																											daß
																											-
																											im
																											Gegensatz
																											zur
																											Anordnung
																											von
																											Erlandsson
																											-
																											an
																											das
																											Mikroskopobjektiv
																											nur
																											sehr
																											geringe
																											Anforderungen
																											gestellt
																											werden,
																											da
																											Linsenfehler
																											die
																											Wellenfronten
																											von
																											Meß-
																											und
																											Vergleichsstrahl
																											identisch
																											verformen,
																											so
																											daß
																											die
																											Interferenzfähigkeit
																											nicht
																											beeinträchtigt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Even
																											if
																											the
																											lenses
																											of
																											a
																											lens
																											array
																											are
																											designed
																											aspherically
																											to
																											compensate
																											for
																											lens
																											errors,
																											there
																											may
																											still
																											remain
																											considerable
																											chromatic
																											defects
																											if
																											the
																											system
																											is
																											used
																											as
																											a
																											color
																											television
																											camera.
																		
			
				
																						Wenn
																											auch
																											die
																											Linsen
																											einer
																											Linsenplatte
																											zur
																											Kompensation
																											von
																											Linsenfehlern
																											asphärisch
																											ausgebildet
																											werden,
																											so
																											bleiben
																											dann
																											doch
																											bei
																											Anwendung
																											als
																											Farbfernsehkamera
																											Farbenfehler
																											von
																											unter
																											Umständen
																											nicht
																											zu
																											vernachlässigender
																											Bedeutung
																											bestehen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											comparing
																											the
																											optical
																											properties—in
																											particular
																											the
																											structurings—of
																											the
																											beam
																											emitted
																											by
																											the
																											additional
																											optical
																											unit
																											and
																											of
																											the
																											test
																											piece
																											beam
																											received
																											by
																											the
																											optical
																											unit,
																											any
																											optical
																											errors
																											in
																											the
																											optical
																											system
																											of
																											the
																											test
																											piece,
																											for
																											example
																											inadequate
																											optical
																											telescope
																											quality,
																											any
																											lens
																											errors,
																											aberrations
																											or
																											distortions
																											and
																											focusing
																											errors,
																											are
																											detected.
																		
			
				
																						Durch
																											Vergleich
																											der
																											optischen
																											Eigenschaften
																											-
																											insbesondere
																											der
																											Strukturierungen
																											-
																											des
																											von
																											der
																											Zusatz-Optikeinheit
																											ausgesendeten
																											Strahlenbündels
																											und
																											des
																											von
																											der
																											Optikeinheit
																											empfangenen
																											Prüflings-Strahlenbündels
																											werden
																											allfällige
																											optische
																											Fehler
																											in
																											der
																											optischen
																											System
																											des
																											Prüflings,
																											beispielsweise
																											eine
																											unzureichende
																											optische
																											Fernrohrqualität,
																											allfällige
																											Linsenfehler,
																											Verzerrungen
																											oder
																											Verzeichnungen
																											und
																											Fokussierungsfehler,
																											erfasst.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Particularly
																											by
																											comparison
																											of
																											the
																											structuring
																											of
																											the
																											emitted
																											radiation
																											30
																											and
																											of
																											the
																											received
																											test
																											piece
																											beam
																											10
																											by
																											means
																											of
																											image
																											processing,
																											errors
																											in
																											the
																											optical
																											system
																											of
																											the
																											sighting
																											unit
																											18,
																											in
																											particular
																											lens
																											errors,
																											aberrations,
																											distortions,
																											focusing
																											errors
																											in
																											the
																											tube,
																											etc.
																											can
																											be
																											detected.
																		
			
				
																						Durch
																											insbesondere
																											mittels
																											Bildverarbeitung
																											erfolgendem
																											Vergleich
																											der
																											Strukturierung
																											der
																											ausgesendeten
																											Strahlung
																											30
																											und
																											des
																											empfangenen
																											Prüflings-Strahlenbündels
																											10
																											können
																											Fehler
																											in
																											der
																											Optik
																											der
																											Zieleinheit
																											18,
																											insbesondere
																											Linsenfehler,
																											Verzerrungen,
																											Verzeichnungen,
																											Fokussierungsfehler
																											in
																											Tubusverlauf,
																											etc.,
																											erfasst
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											way
																											of
																											suitable
																											electrical
																											activation
																											of
																											the
																											electrodes
																											of
																											the
																											liquid
																											lens,
																											errors
																											in
																											the
																											optical
																											imaging
																											or
																											beam
																											shaping,
																											for
																											example,
																											astigmatism
																											or
																											coma,
																											can
																											additionally
																											be
																											reduced
																											or
																											eliminated.
																		
			
				
																						Durch
																											geeignete
																											elektrische
																											Ansteuerung
																											der
																											Elektroden
																											der
																											Flüssiglinse
																											können
																											zudem
																											Fehler
																											in
																											der
																											optischen
																											Abbildung
																											oder
																											Strahlformung,
																											wie
																											z.B.
																											Astigmatismus
																											oder
																											Koma
																											verringert
																											oder
																											eliminiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											means
																											of
																											the
																											degrees
																											of
																											freedom
																											provided
																											by
																											the
																											two
																											beam
																											deflectors
																											acting
																											independently
																											on
																											each
																											other,
																											not
																											only
																											distances
																											of
																											the
																											beam
																											deflectors
																											to
																											the
																											pupil
																											or
																											to
																											an
																											image
																											of
																											the
																											pupil
																											of
																											the
																											focussing
																											optic
																											but
																											also
																											lens
																											errors
																											of
																											the
																											focussing
																											optic
																											and/or
																											errors
																											of
																											the
																											beam
																											deflectors
																											themselves
																											may
																											be
																											compensated
																											for.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											mit
																											Hilfe
																											der
																											zwei
																											unabhängig
																											voneinander
																											wirkenden
																											Strahlablenkungsmittel
																											bereitgestellten
																											Freiheitsgrade
																											sind
																											nicht
																											nur
																											Abstände
																											der
																											Ablenkungsmittel
																											zu
																											der
																											Pupille
																											oder
																											einer
																											Pupillenabbildung
																											der
																											fokussierenden
																											Optik
																											kompensierbar,
																											sondern
																											auch
																											Linsenfehler
																											der
																											fokussierenden
																											Optik
																											und/oder
																											Fehler
																											der
																											Strahlablenkungsmittel
																											selbst.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											this
																											choice
																											of
																											the
																											deflection
																											through
																											the
																											double
																											deflecting
																											system
																											(12,
																											13)
																											it
																											is
																											attained
																											that
																											the
																											transfer
																											lens
																											produces
																											no
																											errors
																											dependent
																											on
																											the
																											energy
																											bandwidth
																											which
																											is
																											set.
																		
			
				
																						Durch
																											diese
																											Wahl
																											der
																											Ablenkung
																											durch
																											das
																											Doppelablenksystem
																											(12,
																											13)
																											wird
																											erreicht,
																											daß
																											die
																											Transferlinse
																											(15)
																											keine
																											von
																											der
																											eingestellten
																											Energiebandbreite
																											abhängigen
																											Fehler
																											erzeugt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Advantageously,
																											the
																											test
																											object
																											or
																											mirror
																											guides
																											the
																											light
																											beam
																											or
																											measuring
																											beam
																											directly
																											onto
																											the
																											light
																											detector,
																											such
																											that
																											additional
																											errors,
																											particularly
																											due
																											to
																											lens
																											errors,
																											are
																											avoided.
																		
			
				
																						In
																											vorteilhafter
																											Weise
																											wird
																											der
																											Lichtstrahl
																											bzw.
																											Messstrahl
																											vom
																											Messobjekt
																											oder
																											Spiegel
																											direkt
																											auf
																											den
																											Lichtdetektor
																											gelenkt,
																											so
																											daß
																											zusätzliche
																											Fehler,
																											insbesondere
																											aufgrund
																											von
																											Linsenfehlern
																											vermieden
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											other
																											camera
																											models
																											are
																											used
																											as
																											the
																											pinhole
																											camera
																											model
																											described
																											here
																											in
																											detail,
																											e.g.,
																											the
																											“thick-lens”
																											or
																											“thin-lens”
																											or
																											fisheye
																											or
																											other
																											camera
																											models,
																											with
																											and
																											without
																											consideration
																											of
																											lens
																											errors
																											and
																											lens
																											distortions,
																											the
																											camera
																											projection
																											can
																											then
																											also
																											be
																											modeled
																											by
																											several
																											and/or
																											different
																											camera
																											projection
																											parameters
																											not
																											necessarily
																											forming
																											only
																											one
																											such
																											matrix.
																		
			
				
																						Werden
																											andere
																											Kameramodelle
																											als
																											das
																											hier
																											im
																											Detail
																											beschriebene
																											Lochkameramodell
																											verwendet,
																											z.B.
																											"Thick-Lens"-,
																											"Thin-Lens"-,
																											Fischaugen-
																											oder
																											andere
																											Kameramodelle,
																											mit
																											und
																											ohne
																											Berücksichtigung
																											von
																											Linsenfehlern
																											und
																											-verzerrungen,
																											dann
																											kann
																											die
																											Kameraprojektion
																											auch
																											durch
																											mehr
																											und/oder
																											andere,
																											nicht
																											notwendigerweise
																											nur
																											eine
																											solche
																											Matrix
																											bildende
																											Kameraprojektionsparameter
																											modelliert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											means
																											of
																											special
																											mathematical
																											corrections
																											and
																											image
																											processing
																											algorithms,
																											the
																											hotCAM
																											optical
																											position
																											measuring
																											system
																											compensates
																											for
																											lens
																											errors
																											and
																											harsh
																											environmental
																											conditions
																											like
																											vapours
																											and
																											dust
																											which
																											are
																											inevitable
																											in
																											the
																											rough
																											atmosphere
																											of
																											a
																											hot
																											rolling
																											line.
																		
			
				
																						Durch
																											spezielle
																											mathematische
																											Korrekturen
																											und
																											Bildbearbeitungsalgorithmen
																											kompensiert
																											das
																											optische
																											Positionsmesssystem
																											hotCAM
																											Fehler
																											der
																											Linsen
																											und
																											schwierige
																											Umgebungsbedingungen,
																											wie
																											z.
																											B.
																											Dampf
																											und
																											Staub,
																											die
																											in
																											der
																											rauen
																											Atmosphäre
																											einer
																											Warmwalzstrasse
																											unvermeidbar
																											sind.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											lens
																											is
																											the
																											most
																											important
																											thing
																											in
																											choosing
																											a
																											lens
																											glasses
																											for
																											errors
																											lead
																											to
																											discomfort
																											in
																											the
																											eye.
																		
			
				
																						Das
																											Objektiv
																											ist
																											das
																											Wichtigste
																											bei
																											der
																											Auswahl
																											einer
																											Linse
																											Brille
																											für
																											Fehler
																											führen
																											zu
																											Unannehmlichkeiten
																											im
																											Auge.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											presence
																											of
																											a
																											power
																											axis
																											wedge
																											in
																											a
																											cylinder
																											lens
																											indicates
																											mechanical
																											errors
																											and
																											optical
																											aberrations
																											in
																											a
																											system
																											such
																											as:
																		
			
				
																						Ein
																											Keilwinkel
																											der
																											gekrümmten
																											Achse
																											in
																											einer
																											Zylinderlinse
																											ist
																											ein
																											Hinweis
																											auf
																											mechanische
																											Fehler
																											und
																											optische
																											Aberrationen
																											in
																											einem
																											System,
																											beispielsweise:
															 
				
		 ParaCrawl v7.1